文档介绍：目的:建立洁净区(室)悬浮粒子数监测的标准工作程序。范围:洁净区(室)内悬浮粒子数监测的过程。职责:检测人员严格按此检查规程操作,化验室主管负责监督实施。规程::,洁净区尘埃粒子数量浓度受控和被分级的(房间)空间,(房间)空间的设计、建设和使用需控制室内粒子的引入、产生和滞留。。,供应进入洁净(室)区的空气通过引导作用与内部空气混合。)粒子有规定物理界限的物质组分。用于空气洁净度分级的固体或液体物,其粒径阈值(低限)-5μm,并呈累积分布。b)粒子粒径选定的粒径测量仪作出与被测粒子球体直径当量的反应。注:当量光学直径用于离散粒子光散射仪。c)粒子浓度单位体积空气里的单个粒子数。d)粒子粒径分布根据粒径函数,粒子浓度的累积分布。e)大粒子当量直径大于5μm的粒子。,以作为所用测量方法特性的当量直径来表示。注:M描述符可认为是取样点平均值的上限,M描述符不能定义ISO等级,但可以单独引用或与ISO等级一起引用。(下限)粒径范围内呈累积分布的粒子群体才可供分级用。(室)维护和监测管理规程规定的监测频率,合理安排监测计划。,安排好环境检测人员进行监测,确保监测工作如期完成。,室内检测人员不得多于2人。(室)内温度应控制在18~26℃,相对湿度控制在45~65%,生产区洁净区(室)内温湿度根据产品工艺而定。空气洁净度等级不同的相邻房间的静压差及洁净区(室)与室外大气的静压差应大于10Pa。)空态:洁净室或洁净区已完工,所有动力接通并运行,但无设备、设施、材料或人员在场。b)静态:洁净室或洁净区已完工,设备已经安装好,并以约定方式运行15-20分钟自净,但没有人员在场。c)动态:洁净室或洁净区以约定条件发挥作用,设备以规定方式运行,有规定数量的人员在场。)粒子计数器该仪器具有显示或记录空气里离散粒子的总数和粒径的能力以及粒径鉴别能力,可检测到被考虑级别之适当粒径范围内的总粒子浓度。注:光散射(离散)尘埃粒子计数器(LSAPC)常常用来划分空气洁净度等级。b)仪器校准粒子计数器应有有效的校准证:校准的频率和方法应按ISO21501-4所述的现行认可规定来执行。注:针对ISO21501-4里要求的所有测试,有些粒子计数器不能校正。如果是这种情况,在测试报告里记录下使用该计数器的决定。c)粒子计数测试的准备工作按照性能指标,测试前应确认洁净室或洁净区的所有相关方面作为一个整体,是完整的、功能正常的。d)当尘埃粒子大于等于规定粒径时,在指定取样点使用光散射离散尘埃粒子计数器(LSAPC)是判定其浓度的基础。、采样量,,取样点的最小数量NL来源于附表一。注1:如果被考虑面积在表格里两数值之间,取两者之间的较大数值。注2:如果是单向气流,区