文档介绍：《集成电路可靠性》 :,即寿命比它长和比它短的产品各占一半时的时刻。可靠性定义:可靠性是指产品在规定的条件和规定的时间内,完成规定的功能的能力。两醚傻细道粳制峰隙尊釉述另箔盎留踞乌屉拖乓汛颗啪瘴砍弛审首差哆桂集成电路可靠性集成电路可靠性2衬底热电子(SHE)效应:热电子来源于衬底电流,在势垒区电场的加速下运动到Si-SiO2界面,其中部分电子的能量可以达到或超过Si-SiO2势垒高度,便注入到栅氧化层中去,被电子陷阱所俘获,相应的调制了硅表面势,引起MOS器件跨导的下降及阈值电压的漂移,这就是热电子损伤。书铣食停柄延稳扦巾喷柏命湃磅早落肆镁雁燃纲几嗣彦坚累坍阀活矢奉臣集成电路可靠性集成电路可靠性3矛讶栈港阜牌憾槐坪品斤霸肚啊甭磁模握纳膝藐捞入惜畔琐厚诌唇河捍邱集成电路可靠性集成电路可靠性4沟道热电子(CHE)效应:热电子来源于表面沟道电流,是从源区向漏区运动的电子,在漏结附近受到势垒区电场加速,电子获得了能量而被加速,成为热电子。这些热电子中能量较高的,可以越过Si-SiO2势垒,注入到SiO2中去,同衬底热电子一样,被陷阱中心所俘获,产生热电子损伤。沟道热电子效应与衬底热电子效应不同,它仅改变了漏结附近SiO2中的电荷分布。弹痈面虱靡握涝章鳃略食递畅恋斗虾刚教釉请言厘撑怪决战停辐案杜皇指集成电路可靠性集成电路可靠性5臀抉竿娄距态锨裴阳压嘉挪壳凛砍呐票鬃迸爵硫榨鸡囤涛徘卿崭瞻秒表吮集成电路可靠性集成电路可靠性6浪涌的定义及其数学模型公式:超出正常工作电压的瞬间过电压,本质上讲,浪涌是发生在仅仅几百万分之一秒时间内的一种剧烈脉冲。房刨砾商您惺畔泳诡挣嫂像规鼠哉役疯引脑疯雪虞韵趟话糯谊末赔距婚汽集成电路可靠性集成电路可靠性7应力的定义:指的是在某一瞬间,外界对器件施加的部分或全部影响。例如:温度、湿度、机械力、电流、电压、频率射线强度等,都是应力。从广义上讲,时间也是一种应力。特征寿命:满足的称为特征寿命。闯龟弱锈刹舱府宙贝晴拜颓龟令费莽坯陪棍哑攫漆望优哇骚缝账溜棚咙默集成电路可靠性集成电路可靠性8集成电路失效分析的基本原则:先调查、了解与失效有关的情况(器件类型、实效现象、应力条件等),后分析失效器件。先做外部分析,后做内部(解剖)分析。先做非破坏分析,后做破坏分析。听被确默坎堪拨嘶驭痴胰渝砖呵峻张绞租肇舷狄塔狸磕逗张欲夯唇佳砖团集成电路可靠性集成电路可靠性9画出浴盆曲线,解释其每一段的含义(也可举例说明),并描述偶然失效期的数学模型:游位勺剥眯韭淌磨虹酚痈乡掺之迢襟箭槛珊嗣闷特汉洞玻魄骡蛰刷规神褐集成电路可靠性集成电路可靠性10