文档介绍：: .
TCAD 速成手册
第 1 章 : 简介
该指南手册针对首次应用 SILVACO TCAD 软件的新用户。 它旨在帮助新用户在几分钟时
间内快速并成功安装和运行该软件。
该指南也演示如何快速有效查看手册， 查找仿真器中使用的所有参数的解释和定义。 它也参
照相应章节，来理解等式以及其使用的根本规则。
关于进一步的阅读和参考，用户可参照 SILVACO 网站的技术支持部分， 那里有丰富的技
术材料和发表文献。
第 2 章 : 快速入门
: DeckBuild 运行时间环境窗口
"DeckBuild" 是富含多样特征的运行时间环境， 它是快速熟悉 SILV ACO 的 TCAD 软件的关
键。 Deckbuild 主要特征包括： 自动创建输入文件、编辑现有输入文件，创建 DOE，强大
的参数提取程序和使得输入文件中的参数变量化。
更重要的是， DeckBuild 包含好几百个范例，涵盖多种电学、光学、磁力工艺类型，便于首
次使用该工具的用户。
使用入门
用户可打开一个控制窗口， 创建一个目录， 用于保存该指南范例将创建的临时文件。 例如，
要创建或重新部署一个名为 "tutorial," 的目录，在控制窗口键入：
mkdir tutorial cd tutorial : .
然后键入下列命令开启 deckbuild 运行环境：
deckbuild
屏幕上将出现类似于图 的 DeckBuild 运行时间环境。
GUI 界面包括两部分： 上部窗口显示当前输入文件，而下部显示运行输入文件时创建的输
出。 : .