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silvacoTCAD仿真速成手册.pdf

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上传人:小辰GG1 2022/6/28 文件大小:966 KB

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文档介绍

文档介绍:: .
示。图 DeckBuild 已载入输入文件




按下"run" 按钮即可运行范例。运行完成后,屏幕出现两个图。
第一个为显示仿真过程中网路掺杂的彩色轮廓图,第二个则是简单的
阈值电压 Vg 相对 Id 图。它们分别为如图 和图 所示。 一
旦选中"Load Example" 按钮,结构文件和线图既加载在当前工作
目录中,因此不必运行仿真即可浏览结果。



图 显示网路掺杂的工艺仿真结构图 显示 Vg 相对 Id 的器件仿真线图




: 查看结果SILVACO 的浏览工具"TonyPlot"是一个功能丰富的绘图工具。
该指南中仅介绍它的某些基本性能。当 SILVACO 的 TCAD 软件包
中保存一个结构文件或一个线图时,创建结构文件或线图的所有参量
将自动包含仅该文件,供绘图之用。
例如在结构文件绘图中,如果想要绘制其他变量如"Donor
Concentration", 则如下点击:

Plot... Display... Define... Contours...
然后向下滚动选择"Quantity:" 方框,得到一组可绘制变量。 如
果按照该顺序执行,将出现两个另外的 GUI 显示,如图所示 。 选
择新的参量并点击"Apply"。

图 选中可绘制变量的相关 GUI运行时常需要查看一个图表的"cutline"片断。 这时,关闭其它
相关绘图相关视窗,点击"OK," 然后返回主要视图和选择下列命令:
Tools... Cutline...

现在将使用默认"vertical cutline"方框,但在"cutline" GUI 中
也可以选择水平或交叉的 cutline 方框。 返回主图,在 cutline 起点
处点击并按住鼠标左键。竖向直拖动鼠标,到 cutline 终点处松开鼠
标。松开左键后,cutline 图表将自动显示当前现实的参量的 cutline。
完成操作后点击 cutline 方框上的 "OK" 键。

要在新 cutline 图上覆盖显示其他变量,则左击线图,使之变为
当前视图(图表的白色边框表示它为激活现行图表)。然后点击:

Plot... Display...

来选择要覆盖在线图上的其它参量。 例如,如果在线图上添加
Arsenic, Boron 和 Phosphorus,它应该显示在图 上。 Vg 相
对 Id 曲线也有相似命令,使它可以在线图上覆盖显示其它电学参
量。图 Cutline 图




总的来说,在终端或控制窗口键入"tonyplot ",可绘制一个文件;
或者在 DeckBuild 中,通过高亮文件名并按下列顺序操作命令,直
接绘制结构。

Tools... Plot... Plot Structure

要自动绘制一个仿真中创建的结构文件,只需简单添加语句:

structure outfile=
tonyplot
至输入文件,仿真器将保存创建的器件文件直至输入文件中该
点。仿真器在达到该点之后,即自动绘制结构。用户可在仿真过程中
的任意点绘制任意数目的结构文件。 : .