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欧姆接触的研究和AlGaNGaN高电子迁移率晶体管的制作的综述报告.docx

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欧姆接触的研究和AlGaNGaN高电子迁移率晶体管的制作的综述报告.docx

上传人:niuww 2024/4/17 文件大小:10 KB

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文档介绍:该【欧姆接触的研究和AlGaNGaN高电子迁移率晶体管的制作的综述报告 】是由【niuww】上传分享,文档一共【2】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【欧姆接触的研究和AlGaNGaN高电子迁移率晶体管的制作的综述报告 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。欧姆接触的研究和AlGaNGaN高电子迁移率晶体管的制作的综述报告欧姆接触的研究和AlGaNGaN高电子迁移率晶体管的制作一、欧姆接触的研究欧姆接触是指电子与半导体的界面形成的接触,它是半导体器件中最基本的接触形式。在欧姆接触中,电荷从金属到半导体的流动是自由的,导致了一个电势垒的消失,实现了流动时的电压等于零。,使电子在半导体中生成足够的浓度,使其带电子区的电势能够与金属中的电势能够匹配,从而形成一个电势垒变平的区域。由于半导体材料内禁带大小不同,金属材料中导带的离子势可以与n或p型半导体带电子区的能量级接近。当n型或p型半导体和金属接触时,电荷会从金属移动到半导体,并形成一个扩散区,此时,金属电势垒与半导体电势垒相互抵消,接触区会呈现平坦的接触,从而形成了欧姆接触。,如金属半导体场效应晶体管(MESFET)和金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)等。在这些器件中,欧姆接触基本上是操作电路的必要等组成部分。二、AlGaNGaN高电子迁移率晶体管的制作AlGaNGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)是指基于AlGaN/GaN异质结构的FET,它具有优异的高频特性和高功率。制备方法如下:,并利用有机金属气相沉积(MOCVD)方法生长AlGaN/GaN异质结构。,制备出金属剥离的半自由式结构,可用于提高电子迁移率。,制备源和漏,以保证材料的高纯度和稳定性。,形成HEMT晶体管,并对其进行测试和评估。结论欧姆接触是半导体器件的基本接触形式,其研究和应用对于半导体器件的研究有着重要的作用;AlGaNGaN高电子迁移率晶体管具有优异的高频特性和高功率,其制备过程中需要注意材料的高纯度和稳定性。