文档介绍：该【半导体晶圆厂气体监控系统设计中期报告 】是由【niuww】上传分享，文档一共【2】页，该文档可以免费在线阅读，需要了解更多关于【半导体晶圆厂气体监控系统设计中期报告 】的内容，可以使用淘豆网的站内搜索功能，选择自己适合的文档，以下文字是截取该文章内的部分文字，如需要获得完整电子版，请下载此文档到您的设备，方便您编辑和打印。半导体晶圆厂气体监控系统设计中期报告本次半导体晶圆厂气体监控系统设计中期报告主要包括以下几个方面的内容:一、设计背景随着半导体技术的快速发展,半导体晶圆厂近年来发展迅速,但是随之而来的环境污染问题也日益严重。半导体生产过程中使用的气体,如***气等对环境和厂内工作人员都有一定的安全风险,因此必须建立一套完备的气体监测及报警系统。二、设计目的本次设计的目的是为了实现对半导体晶圆厂生产过程中使用的气体进行监测和报警,早期发现气体泄漏和异常情况,以保障厂内员工的安全和环境的健康。同时,系统还需要支持多种传感器的接入和检测监控参数的实时采集和数据存储。三、设计方案(1)方案的总体架构本次设计采用分布式系统架构,包括数据采集子系统、数据处理子系统、数据展示子系统三个子系统组成。其中,数据采集子系统主要由传感器、AD采集模块和控制单元等组成,用于采集气体监测的数据;数据处理子系统由主控单元、数据库和报警器等组成,主要用于处理采集到的数据,进行报警和数据存储;数据展示子系统主要由PC机和监控软件组成,用于实现对数据的可视化展示。(2)系统的具体实现数据采集子系统:传感器使用气体检测传感器,可以实现检测***气等气体的浓度,以及室内温度、湿度等参数;AD采集模块采用AD7492芯片,用于将传感器采集到的模拟信号转换成数字信号;控制单元采用STM32F407VET6单片机,用于控制采集模块,并将采集到的数据通过SPI接口传输到数据处理子系统。数据处理子系统:主控单元采用STM32F429ZIT6单片机,用于接收采集子系统传送过来的数据,进行处理和分析,并控制数据库和报警装置;数据库采用MySQL数据库,用于存储气体监测的数据;报警器采用声光报警器,用于在监测到气体泄漏等异常情况时发出报警信号。数据展示子系统:PC机通过局域网连接到数据处理子系统,安装统一的监测软件,用于实现对数据的实时监控和可视化展示。四、预期成果本次设计的主要成果为一套完备的半导体晶圆厂气体监控系统,能够实现对***气等气体的实时监测和报警,并支持对监测参数进行实时采集、存储和展示。实现该系统能够有效保障厂内员工的安全和环境的健康,并为后续的生产过程管理提供支持。