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SGC-2型自动椭圆偏振测厚仪使用说明书.doc

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SGC-2型自动椭圆偏振测厚仪使用说明书.doc

上传人:jiquhe72 2018/1/17 文件大小:87 KB

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SGC-2型自动椭圆偏振测厚仪使用说明书.doc

文档介绍

文档介绍:SGC-2型自动椭圆偏振测厚仪使用说明书
一、简介
1、原理
使一束自然光经起偏器变成线偏振光。再经1/4波长片,使它变成椭圆偏振光入射在待测的膜面上。反射时,光的偏振状态将发生变化。通过检测这种变化,便可以推算出待测膜面的某些光学参数。
2、结构
本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分,外观参看下图。
光源:①其特点是:光强大、光谱纯、波长稳定性好。
接收器:采用光电倍增管⑤,把光讯号变为电讯号,经放大后输出至微机,由微机选择出消光位置的角度值。
主机部分:除以上两项外,还有起偏组件②,样品台③,检偏组件④。
电子及通讯部分⑥:采集光强及对应的角度值并传输到计算机,再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。
二、仪器的安装(在安装和校正之前首先要看明白注意事项)
1、首先将仪器安放在仪器室的工作台上,用软毛刷或绸布清理仪器表面的尘土。
2、将主机上的各条导线插到下方的电源箱上,可根据针数的不同判断插孔位置,再将红、黑两个插头插入相应颜色的插孔内(此两个插座带有高压,插入时必须先断电再操作,并且不要触摸金属部分),再将仪器用电源线接入220V,50Hz交流电,最后用USB线连接好主机与计算机。
3、所有连线连接好之后,打开主机电源开关,将仪器的配套光盘放入光驱,计算机上会检测到USB设备,然后点击“下一步”使用默认设置,直到USB设备安装完成;之后,在“我的电脑”中双击“光盘”图标打开光盘,双击光盘根目录下的“Setup”安装仪器的配套软件,具体操作见第5页的“软件的使用方法”。
三、仪器的校正
仪器出厂前均已调好,满足设计要求,但由于长期使用或运输中的振动可能造成仪器上的各部分位置关系稍有变动。为保证仪器精度需重新调整,步骤如下:
注意:在以下所提到的光路调整中不要用眼睛直接观察激光束,需要观察光强时请用白屏(或白纸等)挡住光束,观察白屏上反射光点的亮度。
打开主机开关,正对仪器时右手为光源侧,左手为接收侧,使光源侧的游标零点对准大刻度盘的90°位置,当:
1. 光源侧无光线射出或射出的光强太弱
请将光源侧的遮光套管推回并将偏振挡光罩取下,将此侧光栏摘下,并将调整装置插入调整孔,如果光束不能通过两个调整装置上的孔则需将光源侧的挡光罩摘下,松开反射镜固定螺丝,调节反射镜的角度,直到激光束可垂直通过两个调整装置上的孔,并且强度无明显减弱,说明光束方向正确,在此步骤中尽量只调整上侧的棱镜,当此棱镜调节无法使光线方向正确则需先取下此棱镜,将调整装置2装入棱镜下方的圆孔内,调整下侧的棱镜,使光束穿过此装置的两个孔,调整完成后取下调整装置2,再将上侧的棱镜装上,并调整位置使光束通过两个调整装置上的孔,调好后可取下调整装置,将光栏调整到适当位置后锁紧,盖上先前取下的挡光罩,再将偏振挡光罩扣好,则光源侧的光路调整完成;
2. 当光点偏出接收侧的光栏孔时
需要将遮光套管推回并取下接收侧的偏振挡光罩,将光栏座松开并调整到光点通过光栏的中心;
3. 当光点可以通过接收侧的光栏孔时
可直接装上调整光栏,观察光束是否也能通过调整光栏,如不能则要先摘下固定立板,观察光束能否打入接收器遮光管的中心,如不能就要调整接收器的角度,之后再装上固定立板并调整好角度,