文档介绍：拉晶操作规程
开炉前准备工作
穿上清洁的工作服,戴上工作帽、口罩,换上工作鞋,拿上所需的工具,放在工作台上以备用。
清扫炉子
首先拧开副室门螺丝,打开氩气流量计的阀门,然后把减压阀找开,往炉内充氩气,直至充满,打开炉门,关掉氩气。关氩气时,先关减压阀,后关系流量计。取出单晶后,彻底清扫过滤网及过滤筒,清理完后,关上插板阀,升上副室,依次拿出导流筒、保温盖、上保温筒、圆环等,把余料拿出,然后把三瓣石墨坩埚取出,彻底并仔细清扫拿出的石墨件。清理后,把炉筒、炉盖清理干净,然后升上主室友,仔细查看电板是否有打火的现象,如发现有异常,需拿出加热器,进行彻底地处理。没有异常现象,应把电极螺丝紧一遍,然后吸尘器清理炉底有及抽气管道。
全部清理完后,要认真仔细小心地依次把石墨件装入,注意查看加热器与石墨坩埚和保温筒内壁四周的否均匀,确定完好后,把炉筒密封圈及炉底密封圈清理干净,然后降下主室把热偶取光孔及保温筒石墨套管对准,然后把圆环装入。
装料及封炉
把事先准备发了的多晶料放在工作台上备用,戴上无尘手套,打开石英坩埚包装,仔细检查石英坩埚,确定无异常小心地放入石墨坩埚内(注意要放平衡),然后把最大块的多晶料小心轻放入石英坩埚内。装料时应注意:(1)
最大的料先埚底;(2)细料不要装在石英坩埚上部的内壁边沿,以防挂边;(3)装料时应切断锅转电源,以防多晶料把导流筒内壁石墨刮入石英坩埚内,沾污硅料或使伊尔根***槽移位,放上保温筒、保温盖、导流筒,然后再把余料往导流筒内装入,直至全部装完。
装料完后,仔细查看炉盖的密封圈,观察窗的挡光玻璃等确定符合要求时,再副室合上,接着把副室彻底地清扫一遍,查看籽晶,确定无异常情况,打开插板阀,关上炉六,启动机械泵,缓慢地打开抽空截止阀,开始抽空。
抽空
当炉内的真空抽以一定高度时,因内有潮气,不能抽上去,此时需充氩气来带走炉内的潮气,充氩气时应注意:(1)首先把流量计阀门打开,然后再把减压阀打开,保持3kg 压力入炉内充气;(2)当充气3-5分钟后要关闭氩气时,把流量计阀门关掉,如此反复,直到真空达到3 Pa之内;(3)当真空长时间抽不上去,确定是炉子漏气,应及时地向车间主管及老板汇报。直到找出原因,真空正常方可升温。
升温、化料
当真空达到要求时,开始升温。首先把氩气打开,往炉内充氩气,然后严格按规定的程序升温。当发现炉内有有现象,及时地汇报给老板及车间主管,必要时可以停止加热,以保设备的安全。当料完全下榻时,应及时地把锅位升上来,但不能让余料碰到导流筒,此时要仔细地观察液面变化情况,一旦发现液面不上升反而下降时,可能会出现漏硅。当确定是漏硅时,首先马上关掉总电源,然后抽空截止阀关掉,再把氩气关掉,最后把所有的控制开关及电位器关闭、还原。保持炉子冷却水通畅,以确保炉子的安全,处理完后马上报告老板及主管。
引晶、等径
当全熔挥发完后,温度稳定,此时就要引晶。首先要查看减压阀与流量计压力表的压力显示是否一致,通常拉晶时的压力为3kg,如果不一样,, ,特殊情况应及时地汇报。
引晶的拉速不能太快,但也不能太慢。太快容易使放肩马上脱拔,太慢也能使放肩脱拔,放肩的快慢靠实践的经验积累来完成。
当放肩到一定大时,要进转肩。转肩时应根据放肩的速