文档介绍：高端装备与激光技术创新及产业化项目可行性研究报告
项目概况
一项目背景为进一步加快沈阳新松机器人自动化股份有限公司的发展,尽快把企业做大做强,在巩固原有主营业务的同时,加大新兴产业的投资力度,增强公司盈利能力与抗风险能力,为股东及投资人创造价值,新松公司拟在杭州萧山临江工业园区设立全资控股公司,开拓激光产业及高端装备项目。
二项目定位中科新松(杭州)光电有限公司(以工商部门核准的名称为准),简称中科新松,是由沈阳新松机器人自动化股份有限公司(简称“新松公司”)投资建设,作为新松公司的南方中心。中科新松采用有限责任公司的运营机制;办公、研发、生产制造位于杭州市;市场以杭州、上海、深圳公司为窗口,涵盖珠三角、长三角等华南、华东经济圈;与北方新松公司总部遥相呼应,协同发展。
三项目技术与产品 1 洁净高端装备产品(1)大气机械手大气机械手主要应用于IC生产中大气端晶圆片的传送,主要包含运动部件的洁净润滑、高速平稳控制、控制器的小型化、晶圆位臵检测等关键技术。目前有单臂和双臂两种产品,已经完成了在沈阳芯源公司TRACK 机上的示范应用,并通过了辽宁省的新产品投产鉴定和科技成果鉴定。(2)真空机械手真空机械手主要应用于IC生产中真空腔室内部各工位间晶圆片的传送。新松机器人自动化股份有限公司已经完成了第一代和第二代基于磁流体密封真空机械手的开发。目前已解决(1)真空机械手平滑控制问题;(2)润滑问题;(3)传动问题;(4)密封问题;(5)材料问题(6)安全问题。目前产品样机已经在北方微电子公司进行了测试和示范应用,各项测试指标高端装备与激光技术创新及产业化项目可行性分析报告完全满足要求。(3)洁净镀膜机器人新松公司开发完成了洁净镀膜搬运机器人生产线系统。该系统主要用于光导鼓(打印机关键零部件)镀膜和搬运,适用于在洁净环境下工作,已经着重攻克了洁净润滑及材料表面加工技术和机器人平稳控制技术。目前洁净镀膜机器人在苏州恒久光电科技有限公司已经成功应用于生产。(4)超薄玻璃洁净搬运机器人超薄玻璃广泛应用于生产电脑显示器、笔记本电脑、手机和掌上电脑(PDA )等平板显示器(FPD)。沈阳新松机器人自动化股份有限公司与中国洛阳浮法玻璃集团合作,攻克了超薄玻璃洁净搬运机器人本体设计技术、平稳控制技术和真空吸附技术,研制出了直角坐标型超薄玻璃洁净搬运机器人。目前该产品已经成功应用于中国洛阳浮法玻璃集团的生产。 2 激光产业产品(1)激光器件激光器件主要包含激光电源、泵浦源模块、传输光纤、激光模组、激光加工头、送粉器、冷却系统等。新松公司致力于激光封装技术、激光器件技术的研发和产业化,为此整合国内外资源攻关相关产品的关键技术。我们研发和制造的产品主要包含激光电源、半导体模块、激光模组、激光光纤、激光熔覆头、激光焊接头、激光切割头、负压式送粉器、半导体激光器、光电探测器、半导体泵浦激光单管、各种系列冷水机等等。目前,半导体激光器件的封装生产线正在建设,激光加工头、送粉器、冷水机等激光相关产品已经得到了广泛的应用,产生了近千万元的产值。(2)激光器激光器是光电信息产业和装备制造产业的关键部件,市场规模巨大,目前我国主要依靠进口。新松公司率先研制了国内首台大功率模块化CO2 激光器,并形成 3KW和5KW系列产品;承担了国家科技部“十一五”863重点项目“大功率全固态激光器及焊