1 / 12
文档名称:

等离子体溅射镀膜.ppt

格式:ppt   大小:2,584KB   页数:12页
下载后只包含 1 个 PPT 格式的文档,没有任何的图纸或源代码,查看文件列表

如果您已付费下载过本站文档,您可以点这里二次下载

分享

预览

等离子体溅射镀膜.ppt

上传人:tanfengdao 2025/3/15 文件大小:2.52 MB

下载得到文件列表

等离子体溅射镀膜.ppt

相关文档

文档介绍

文档介绍:该【等离子体溅射镀膜 】是由【tanfengdao】上传分享,文档一共【12】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【等离子体溅射镀膜 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。等离子体溅射镀膜
王建兵
2021
2022
2023
系统组成
等离子体束溅射镀膜机主要由射频等离子体源、真空获得系统、电磁线圈(发射线圈及汇聚线圈)、偏压电源、真空室(包括靶材及基片等)、真空控制系统等部分构成。其显著特点是它的等离子体发生控制系统,其示意图如图1所示。
高利用率等离子体溅射原理图
等离子体发生控制系统是镀膜机中的关键
部分,其中射频等离子体源位于真空室的侧面,
并在等离子体源的出口处及溅射靶材的下方分
别配置有一个电磁线圈。当两个线圈同向通过电流时,线圈合成的磁场将引导等离子体源中产生的电子沿磁场方向运动,从而使等离子体束被约束在磁场方向上。同时靶材加有负偏压,使溅射离子在电场的作用下加速撞击靶表面,产生溅射作用。
#2022
二,系统特点
3,当将电磁线圈的极性反接时,由于磁场的方向,产生了变化,等离子体束会在磁场的作用下轰击基片,从而对基片产生清洗作用,如图所示。这实际上可以使得应用该项技术的镀膜机省略常规镀膜机的清洗用离子源。
01
三,应用:可做多种材料共溅射
02
通过调节靶偏压可以对沉积速率进行控制。
03
当使用多块靶时,如果各靶之间相互绝缘,
04
并将每个靶施加不同的偏压,就可以做到多
05
成分共溅射,即可通过调节各溅射靶的偏压
06
很容易地实现镀制薄膜的成分控制。
系统共溅射示意图及其靶的组成

最近更新

2025年度农村宅基地买卖合同及土地流转监管协.. 7页

2025年度农村土地租赁合同范本——农业科技研.. 8页

2025年度农村土地流转及综合利用开发合同 9页

鱼类的感觉和行为 53页

2025年度农村合作建房协议模板(新型城镇化项.. 9页

2025年度农机社会化服务与农村文化振兴合同 9页

2025年度农家乐旅游设施租赁合同 9页

2025年度农产品质量安全检测设备租赁合同 9页

高钾血症患者的护理 11页

高血脂相关知识 32页

第7章一元一次不等式与不等式组(8大重难点题.. 72页

高血压治疗合理决策 47页

高考现代文阅读答题技巧 21页

2025年新型生物反应器项目合作计划书 57页

2025年文具项目发展计划 62页

2025年提灯项目建议书 62页

2025年手提应急灯项目发展计划 57页

2025年平面磨床合作协议书 73页

2025年家用电器项目建议书 71页

2025年工程汽车项目发展计划 61页

2025年房地产开发经营服务项目合作计划书 64页

高考与高考失败教训课件(高中班会课件) 33页

植物抗病性改良策略-全面剖析 27页

虚拟现实与增强现实技术在公共安全领域的应用.. 25页

虚拟现实技术在电信教学中的创新应用-全面剖析.. 26页

高温蠕变与疲劳 19页

量子密钥分发的物理安全性研究-全面剖析 26页

内质网应激与细胞衰老的关联机制-全面剖析 26页

极地能源储存系统的安全性分析-全面剖析 25页

国际海事法律环境变迁对贸易的影响-全面剖析 25页