1 / 12
文档名称:

等离子体溅射镀膜.ppt

格式:ppt   大小:2,584KB   页数:12页
下载后只包含 1 个 PPT 格式的文档,没有任何的图纸或源代码,查看文件列表

如果您已付费下载过本站文档,您可以点这里二次下载

分享

预览

等离子体溅射镀膜.ppt

上传人:tanfengdao 2025/3/15 文件大小:2.52 MB

下载得到文件列表

等离子体溅射镀膜.ppt

相关文档

文档介绍

文档介绍:该【等离子体溅射镀膜 】是由【tanfengdao】上传分享,文档一共【12】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【等离子体溅射镀膜 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。等离子体溅射镀膜
王建兵
2021
2022
2023
系统组成
等离子体束溅射镀膜机主要由射频等离子体源、真空获得系统、电磁线圈(发射线圈及汇聚线圈)、偏压电源、真空室(包括靶材及基片等)、真空控制系统等部分构成。其显著特点是它的等离子体发生控制系统,其示意图如图1所示。
高利用率等离子体溅射原理图
等离子体发生控制系统是镀膜机中的关键
部分,其中射频等离子体源位于真空室的侧面,
并在等离子体源的出口处及溅射靶材的下方分
别配置有一个电磁线圈。当两个线圈同向通过电流时,线圈合成的磁场将引导等离子体源中产生的电子沿磁场方向运动,从而使等离子体束被约束在磁场方向上。同时靶材加有负偏压,使溅射离子在电场的作用下加速撞击靶表面,产生溅射作用。
#2022
二,系统特点
3,当将电磁线圈的极性反接时,由于磁场的方向,产生了变化,等离子体束会在磁场的作用下轰击基片,从而对基片产生清洗作用,如图所示。这实际上可以使得应用该项技术的镀膜机省略常规镀膜机的清洗用离子源。
01
三,应用:可做多种材料共溅射
02
通过调节靶偏压可以对沉积速率进行控制。
03
当使用多块靶时,如果各靶之间相互绝缘,
04
并将每个靶施加不同的偏压,就可以做到多
05
成分共溅射,即可通过调节各溅射靶的偏压
06
很容易地实现镀制薄膜的成分控制。
系统共溅射示意图及其靶的组成

最近更新

2025年年终工作总结和2025年年度工作计划 40页

MNS型低压开关柜在电厂项目中的应用 2页

2025年年底员工考核评语集锦 12页

2025年年会条幅标语200句 11页

2025年平面设计个人总结报告 20页

Lake Shore低温传感器应用研究 2页

标准货物销售合同范本 6页

Jψ三级二体强衰变过程的自旋-宇称分析 2页

2025年常见的农用天气谚语集锦 5页

INTEL12英寸印制板若干结构问题分析 2页

HTV-3型塔板的流体力学及传质性能的研究 2页

2025年师德师风建设活动策划方案模板 44页

Exxon公司从煤油制取正构烷烃的新工艺 2页

2025年工程部经理2025年终工作总结精选范文5篇.. 39页

DS200三辊楔横轧机的设计研究 2页

2025年工程地质实习报告总结 9页

第三方物流系统分析与优化理论研究 1页

CMOS集成电路的特点及应用 2页

2025年工厂实习心得体会简短 54页

2025年工匠精神心得高中范文900字 9页

2025年工作方案经典阅读 33页

2025年工作人员转正申请书怎么写 8页

2025年崩溃的近义词有哪些 4页

2025年江苏卫生健康职业学院单招职业适应性测.. 61页

煤矿春季预防性电气试验试措施样板 18页

人教版小学一年级下册数学用同数连减解决问题.. 21页

机械设计制造及其自动化 卧式加工中心主传动设.. 43页

佛教用超度牌位(打印版) 5页

土方工程施工方案与技术措施MicrosoftWord文档.. 64页

初二期中级部及各班名次 30页