1 / 12
文档名称:

等离子体溅射镀膜.ppt

格式:ppt   大小:2,584KB   页数:12页
下载后只包含 1 个 PPT 格式的文档,没有任何的图纸或源代码,查看文件列表

如果您已付费下载过本站文档,您可以点这里二次下载

分享

预览

等离子体溅射镀膜.ppt

上传人:tanfengdao 2025/3/15 文件大小:2.52 MB

下载得到文件列表

等离子体溅射镀膜.ppt

文档介绍

文档介绍:该【等离子体溅射镀膜 】是由【tanfengdao】上传分享,文档一共【12】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【等离子体溅射镀膜 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。等离子体溅射镀膜
王建兵
2021
2022
2023
系统组成
等离子体束溅射镀膜机主要由射频等离子体源、真空获得系统、电磁线圈(发射线圈及汇聚线圈)、偏压电源、真空室(包括靶材及基片等)、真空控制系统等部分构成。其显著特点是它的等离子体发生控制系统,其示意图如图1所示。
高利用率等离子体溅射原理图
等离子体发生控制系统是镀膜机中的关键
部分,其中射频等离子体源位于真空室的侧面,
并在等离子体源的出口处及溅射靶材的下方分
别配置有一个电磁线圈。当两个线圈同向通过电流时,线圈合成的磁场将引导等离子体源中产生的电子沿磁场方向运动,从而使等离子体束被约束在磁场方向上。同时靶材加有负偏压,使溅射离子在电场的作用下加速撞击靶表面,产生溅射作用。
#2022
二,系统特点
3,当将电磁线圈的极性反接时,由于磁场的方向,产生了变化,等离子体束会在磁场的作用下轰击基片,从而对基片产生清洗作用,如图所示。这实际上可以使得应用该项技术的镀膜机省略常规镀膜机的清洗用离子源。
01
三,应用:可做多种材料共溅射
02
通过调节靶偏压可以对沉积速率进行控制。
03
当使用多块靶时,如果各靶之间相互绝缘,
04
并将每个靶施加不同的偏压,就可以做到多
05
成分共溅射,即可通过调节各溅射靶的偏压
06
很容易地实现镀制薄膜的成分控制。
系统共溅射示意图及其靶的组成

最近更新

2025年度新能源车辆居间代理销售及售后服务合.. 9页

2025年度新能源研发公司入股占股协议书 7页

2025年度新能源电池制造伪造方协议解除合同函.. 8页

2025年度新能源汽车购置合同退款条款细则 8页

2025年度新能源汽车推广借款保证合同 8页

2025年度新能源汽车产业链股份收购与协同发展.. 9页

2025年度新能源开发个人劳动合同规范 8页

2025年度新能源厂房建设施工合同专业版 8页

2025年度新能源产业债权债务协议书 8页

2025年度新媒体运营个人雇佣合作协议 7页

2025年度新型节水卫浴洁具类买卖合作协议 9页

2025年度新型收款服务与支付平台合作框架协议.. 9页

2025年度文化艺术合同审计报告样本 9页

2025年度文化旅游项目挂靠运营管理协议 9页

临床血液样品采集 25页

2025年度文化创意店面转让定金保障协议 7页

2025年度文化创意产业股份分配与品牌建设合同.. 8页

2025年度文化产业对赌协议设计与应用合同 7页

2025年度数据中心设备采购与安装承包三方协议.. 9页

2025年度数据中心建设项目咨询服务合同 9页

2025年度数字经济产业数据分析师劳动合同书 7页

2025年度教育资源共享信息化工程合同 9页

2025年度教育用品连锁经营合同 9页

2025年度教育机构学生贷款合同补充协议延期与.. 8页

2025年度教育投资公司年托管教师项目管理聘用.. 9页

2025年工程竣工自评报告三篇 19页

XX学校义务教育优质均衡发展创建实施方案范文.. 8页

顺丁烯二酸酐工艺规程 25页

水土保持方案范文5篇 16页

现场5S管理考核办法 5页