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2025/3/17
电子显微技术(1)
电子显微镜(简称电镜，EM)经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。我国的电子显微学也有了长足的进展。电子显微镜的创制者鲁斯卡()教授因而获得了1986年诺贝尔奖的物理奖。
总述：
电子显微技术(1)
电子与物质相互作用会产生透射电子，弹性散射电子，能量损失电子，二次电子，背反射电子，吸收电子，X射线，俄歇电子，阴极发光和电动力等等。电子显微镜就是利用这些信息来对试样进行形貌观察、成分分析和结构测定的。
总述：
电子显微技术(1)
电子显微镜有很多类型，主要有透射电子显微镜(简称透射电镜，TEM)和扫描电子显微镜(简称扫描电镜，SEM)两大类。扫描透射电子显微镜(简称扫描透射电镜，STEM)则兼有两者的性能。
总述：
电子显微技术(1)
总述——显微镜的发展历史
17世纪，光学显微镜（观察细菌和细胞的微米世界）

20世纪20～30年代量子力学的发展（电子的波粒二相性）
1931年，第一台电子显微镜诞生（TEM）（观察病毒和纳晶的纳米世界）
1939年，德国西门子公司生产出第一批商业TEM
1942年，第一台实验室用SEM诞生
1965年，第一台商品SEM
1982年，第一台STM问世（标志着人类进入了人工操纵原子的时代）
电子显微技术(1)
总述：
光学显微镜与电子显微镜的区别
电子显微技术(1)
总述：
光学显微镜与电子显微镜的区别
项目电子显微镜光学显微镜
照明光源电子束可见光
照明波长加速电压80kV时，波长其中紫色光波长400nm

分辨率（）
放大倍数 100万倍 1000倍
成像透镜电磁透镜玻璃透镜
照明介质 x 10-4Pa 以上真空度空气、玻璃、油
焦距调整调整物镜电流，改变磁场改变物镜与样品之间距离
强度调整焦距调焦
样品 50～100nm超薄切片厚切片
样品载体具有支持膜载网载玻片
电子显微技术(1)
Optical Microscope VS SEM
总述：
电子显微技术(1)
总述：
The comparison picture of microscope and transmission electron microscope
电子显微技术(1)
总述：
The comparison picture of scanning electron microscope and transmission electron microscope
电子显微技术(1)