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线切割极品资料公开课获奖课件赛课一等奖课件.ppt

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硅块/ingot
钢线/wire
工作台/table
浆料/slurry
HCT线锯工作示意图
浆料由碳化硅与切削液混合构成。
碳化硅作用:
运用其坚硬特性和锋利菱角将硅棒逐渐截断。

切割液的重要作用:



,保证硅片的表面质量。
浆料作用
SiC制造措施
碳化硅又称金钢砂或耐火砂。分子式为SiC,纯碳化硅是无色透明的晶体。碳化硅晶体构造分为六方或菱面体的 α-SiC和立方体的β-SiC(称立方碳化硅)。α-SiC由于其晶体构造中碳和硅原子的堆垛序列不一样而构成许多不一样变体,已发现70余种。β-SiC 于2100℃以上时转变为α-SiC。
碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料在电阻炉内经 度以上的高温冶炼而成。
工业碳化硅因所含杂质的种类和含量不一样,而呈浅黄、绿、蓝乃至黑色,透明度随其纯度不一样而异。目前我国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种,碳化硅微粉是由炼得的碳化硅块,经破碎、酸碱洗、磁选和筛分或水选而制成多种粒度的产品。
粉体材料粒度的检测可采用筛分法、沉降法、电阻法、激光法、电镜法等多种措施。每一种措施均有各自的特点,检测成果也也许会有差异。对于粒度较细或比重较小的颗粒,采用后三种措施的检测成果比较可靠。
常用磨料粒度尺寸比较表
粒度分布(微米)
化学指标
物理指标
粒度号
D3最大值
粒度中值D50
最小粒径D94
SiC ≥(%)
Fe2O3 ≤(%)
F•C ≤(%)
PH值
堆积密度
GC#800

±




6--8

GC#1000

±




6--8

GC#1200

±




6--8

GC#1500

±




6--8

GC#1800

±




6--8

GC#2000

±




6--8

物理机械性能
,~,多种碳化硅晶形的颗粒密度十分靠近,³,--³之间,其高下取决于粒度号、粒度构成和颗粒形状。
其维氏显微硬度为2840~3320kg/mm2。莫氏硬度仅次于金刚石,-()。磨料中高于刚玉而仅次于金刚石、立方氮化硼和碳化硼。由于它具有高硬度、高耐磨性、高耐腐蚀性及较高的高温强度等特点,被用于多种耐磨、耐蚀和耐高温的机械零部件,是一种新型的工程陶瓷新材料。
1、高纯度、大结晶碳化硅原材料,保证了碳化硅切割微粉优良切割性能和稳定物理状态。
2、粒度形状为等积而具刃锋,保证了碳化硅微粉作为切割刃料均衡自锐性,从而保证被切割材料TTV最小化。
3、粒度分布集中并且均匀。
4、有高热震稳定性和荷重软化温度,这保证了在荷重切割时小线膨胀系数,从而保证切割稳定;并且可以和切割机有很好适配性。
5、表面通过特殊处理,微粉具有大比表面积和清洁外表,与聚乙二醇等切削液有很好适配性。
碳化硅质量原则
切削液的作用
水性切削液的重要成分为聚乙二醇。
悬浮:使磨料均匀分散,保证钢线的带砂能力。
其粘度随温度上升而下降。
冷却:性能与流量、流速有关,及时带走大量的
切削热。
清洗:易于清洗,不易留污。
切削液性质
聚乙二醇(PEG):也称聚乙二醇醚,是由环氧乙烷与水或乙二醇为原料通过逐渐加成反应而生成,其原材料重要来源于石油制品。
物理性质:
1、当PEG的分子量200-700时为白色或透明的粘稠液体,1000-时为蜡质半硬固体,3000-0时为坚硬的蜡状固体。聚乙二醇(PEG)为低毒无刺激性聚合物。 用于硅片切割过程中的切割液的聚乙二醇(PEG)分子量一般为300-400,这一级别的PEG具有合适的粘度指标,既有良好的流动性,又对碳化硅微粉具有良好的分散稳定性,带砂能力强。
2、相对密度:-。- g/cm2;