现代检测技术导论-物理量检测2公开课一等奖课件赛课获奖课件.ppt

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1、多维力传感器中被测量的个数与检测桥路的数量有何关系？
2、触觉传感器重要的性能指标应当包括哪几项？
现代检测技术导论
第三章　物理量检测与传感器
厚膜力敏传感器（高理升）
磁传感器（林新华）
光与图像传感器（孔斌）
　热流式传感器
　谐振式传感器
热流式传感器
工作原理
在密闭的腔体内运用热电阻加热空气，形成稳定的对流，当器件倾斜或存在加速度时，对流方向发生变化，使测试电阻处的气流速度不一样，引起对流散热速率变化，从而使得测试电阻的阻值变化。
原理：
MEMS热流式传感器
美国George Washington大学
腔体的尺寸500m
一维热电偶式构造，加热功率在40mW到90mW时，敏捷度可达到40V/g到115V/g ，频率响应 100Hz
一维热电阻式，加热功率在120mW和430mW的时候，敏捷度分别为25 V/g和185 V/g ,频率响应600Hz
二维构造敏捷度略低
输入-输出曲线
敏捷度-功率曲线（30Hz）

性能：
空气，响应时间300ms; SF6，响应时间600ms
敏捷度:/ (45mW、SF6气体)
量程：360 
辨别率： 
功耗：5mW-50mW
信息产业部十三所
，量程为75g，抗冲击不小于100g。这个传感器中，腐蚀槽的深度为150m，多晶硅加热电阻长1000m，宽80m，厚度2m，测温电阻长1000m，宽40m，厚度2m
传感器设计
多晶硅引线
R8
R5
170m
x
y
参考电阻
R4
R1
加热电阻
R2
测温电阻
R3
R6
R7
2mm
微型热流传感器构造设计图
传热学基础
传热基本方式：传导、对流、辐射
传导——傅里叶导热定律
一维热传导方程