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半导体器件物理6施敏公开课一等奖课件赛课获奖课件.ppt

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半导体器件物理6施敏公开课一等奖课件赛课获奖课件.ppt

上传人:书犹药也 2025/5/13 文件大小:7.87 MB

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MOS二极管
MOSFET基本原理
MOSFET按比例缩小
CMOS与双极型CMOS
绝缘层上MOSFET
MOS存储器构造
有关主题
MOS二极管的VT与反型条件
MOSFET基本特性
按比例缩小理论与短沟道效应的关系
低功耗CMOS逻辑
MOS存储器构造
基本FET构造
MOS二极管
MOS二极管是MOSFET器件的枢纽;在IC中,亦作为一储存电容器;CCD器件的基本构成部分。
理想MOS二极管
理想P型半导体MOS二极管的能带图:
功函数(金属的Φm和半导体的Φs )
电子亲和力
理想MOS二极管定义:
零偏压时,功函数差Φms为零;
任意偏压下,二极管中的电荷仅位于半导体之中,且与邻近氧化层的金属表面电荷量大小相等,极性相反;
直流偏压下,无载流子通过氧化层。
MOS二极管中三个分离系统的能带图
半导体表面三种状态
随金属与半导体所加的电压VG而变化,半导体表面出现三种状态:基本上可归纳为堆积、耗尽和反型三种状况。
以P型为例,当一负电压施加于金属上,在氧化层与半导体的界面处产生空穴堆积,——积累现象。
外加一小量正电压,靠近半导体表面的能带将向下弯曲,使多数载流子(空穴)形成耗尽——耗尽现象。
外加一更大正电压,能带向下弯曲更严重,使表面的Ei越过EF,当电子浓度远不小于空穴浓度时——反型现象。
三种状态
由p型半导体构成的MOS构造在多种VG下的表面势和空间电荷分布:
表面电势ψs:
ψs<0 空穴积累;
ψs=0 平带状况;
ψB>ψs>0 空穴耗尽;
ψs = ψB 禁带中心,ns=np=ni;
ψs >ψB 反型( ψs> 2ψB 时,强反型);
强反型时,表面耗尽区的宽度达到最大值:
Qs=Qn+Qsc=Qn-qNAWm

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