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2025/5/17
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本章内容
工艺和器件TCAD仿真软件的发展历程
工艺和器件仿真的基本流程
TSUPREM-4/MEDICI的仿真示例
ESD防护器件设计规定及TCAD辅助设计的必要性
运用瞬态仿真对ESD防护器件综合性能的评估
浙大微电子
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本章内容
工艺和器件TCAD仿真软件的发展历程
工艺和器件仿真的基本流程
TSUPREM-4/MEDICI的仿真示例
ESD防护器件设计规定及TCAD辅助设计的必要性
运用瞬态仿真对ESD防护器件综合性能的评估
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2025/5/17
TCAD仿真工具简介
目前世界上有三套TCAD仿真工具：TSUPREM4/MEDICI、SILVACO(ATHENA/ATLAS)、ISE(DIOS/MDRAW/DESSIS)
MEDICI和ATLAS都包含器件描述工具和器件仿真工具，在ISE中器件描述和器件仿真被拆提成MDRAW和DESSIS。
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TSUPREM4/MEDICI仿真的基本流程:
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SILVACO(ATHENA/ATLAS)仿真的基本流程:
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ISE-TCAD仿真流程:
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输入输出：
**.inp
**.tl1
TSUPREM4
Medici格式
**.out
MEDICI
**.out
**.in
ATHENA
**.str
ATLAS
**.str
**.log
**
**.tl1
DIOS
**
**
**
**
**
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本章内容
工艺和器件TCAD仿真软件的发展历程
工艺和器件仿真的基本流程
TSUPREM-4/MEDICI的仿真示例
ESD防护器件设计规定及TCAD辅助设计的必要性
运用瞬态仿真对ESD防护器件综合性能的评估
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工艺仿真流程
网格定义
构造初始化
工艺流程
构造操作
保留输出
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