文档介绍：该【PECVD应知应会 】是由【海洋里徜徉知识】上传分享，文档一共【3】页，该文档可以免费在线阅读，需要了解更多关于【PECVD应知应会 】的内容，可以使用淘豆网的站内搜索功能，选择自己适合的文档，以下文字是截取该文章内的部分文字，如需要获得完整电子版，请下载此文档到您的设备，方便您编辑和打印。(完整word版)PECVD应知应会
(完整word版)PECVD应知应会
(完整word版)PECVD应知应会
PE为什么采用下镀膜?
PE危险气体有哪些?
遇到特气报警怎么办？
台达下料台下部最多可以放置几个盛满硅片的花篮？
Roth&Rau分哪几个腔室?
Spc几单测试一次？
膜厚可控范围及规格范围是多少？
折射率可控范围及规格范围是多少？
硅片的线痕方向？
10、Roth＆Rau PM时间周期是多少？
11、上料腔的加热方式？
12、加热腔与反应腔加热方式？
13、折射率与哪种特气的量有明显关系？
14、一个石墨载板装载多少硅片？
15、上料腔平衡压强时充入的是什么气体?
16、PE镀膜时采用什么电离气体?
17、为什么不能让未装满硅片的石墨载板进入sina机？
18、spc测量的是石墨载板哪个位置的硅片？
19、PE镀膜反应方程式？
20、测量膜厚和折射率采用仪器的名称？
21、工艺腔包括哪几部分?
22、镀膜面朝向花篮的哪个方向?
23、PE一条生产线共有几个石墨板?
24、能否让空载盘进入上料台下部？
(完整word版)PECVD应知应会
(完整word版)PECVD应知应会
(完整word版)PECVD应知应会
25、Roth&Rau是哪国生产的？
26、若发现盛有已镀膜的硅片的石墨载板进入sina机该怎么办？
27、台达操作台上料硅片用什么颜色表示？
28、台达上料台上部最多可以放置几个空花篮？
29、往洗磷货架送空花篮时，空花篮头朝向什么方向？
30、台达机是哪里生产？
上镀膜在PM后易产生粉尘片
NH3 SiH4
迅速撤离现场
3个
上料腔 加热腔 反应腔 冷却腔 下料腔
一单一次
85±4nm 85±5nm
2。05±0。03 2。05±
水平方向
10、80—120h
11、卤素灯管加热
12、电阻丝加热
13、SiH4
14、45片
15、N2
16、微波电离
17、边缘处易产生镀膜不均匀的不良片
(完整word版)PECVD应知应会
(完整word版)PECVD应知应会
(完整word版)PECVD应知应会
18、中间五片
19、3 SiH4＋4 NH3→Si3N4＋12H2
20、椭偏仪
21、加热腔 反应腔 冷却腔
22、非红色标识一面
23、8个
24、不能
25、德国
26、按下急停键并报修
27、紫色
28、1个
29、朝向中间方向
30、中国台湾