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application →→制备各种特殊力学性能
的薄膜涂层，
如超硬、高耐蚀、耐热和抗氧化等。
制备各种功能薄膜材料和装饰薄膜涂层等。
气相沉积技术:
发展迅速，应用广泛 →→表面成膜技术
超硬薄膜涂层等。
since 1970s→→
薄膜技术和薄膜材料→→发展突飞猛进
→→成果累累
当代真空技术和材料科学中最活跃的研究领域
微电子工业乃至信息工业的基础工艺:
气相沉积技术+微细加工技术
（光刻腐蚀、离子刻蚀、反应离子刻蚀、离子注入和
离子束混合改性等在内的微细加工技术领域）
金属膜、合金膜，化合物、非金属、半导体、
陶瓷、塑料膜等。
沉积薄膜物质无限制→→基体无限制
可沉积的物质：
application
大量用于电子器件和大规模集成电路制作
制取磁性膜及磁记录介质、绝缘膜、电介质膜、
压电膜、光学膜、光导膜、超导膜、传感器膜和
耐磨、耐蚀、自润滑膜、装饰膜以及各种特殊需
要的功能膜等
在促进电子电路小型化、功能高度集成化方面发
挥着关键的作用。
薄膜技术：
薄膜材料与制备技术
薄膜沉积过程监测控制技术
薄膜检测技术与薄膜应用技术
业→→门类齐全。