文档介绍：姓名:闫兵兵
班级:1104
专业:机械设计制造及其自动化
学号:20111675
能源前景论文
单晶硅片的低温抛光技术
摘要:介绍了一种光学材料抛光新技术——,并对单晶硅片做抛光实验,实验结果表明这是一种很好的光学材料抛光方法。
Abstract:This paper introduces a kind of optical materials polishing new technolog——Cryogenic polishing technology, First turn on the polishing cooling fluid frozen into low temperature polishing die layer, and the single crystal silicon chips as a polishing experiments, the experimental results show that this is a kind of very good optical materials polishing method.
关键词: 低温抛光抛光模层抛光液
Key words: Cryogenic polishing Polishing die layer Polishing liquid
1 前言
近年来科学技术的发展,出现了许多硬脆性难加工材料,例如单晶硅及各种功能性材料、白宝石、特种光学玻璃等。这些材料的出现使近代刚刚趋于成熟的单点金刚石超精密切削技术也变得无能为力。人们在探索新的加工方法的同时不能不还去求助传统的光学工艺方法——散粒磨料抛光技术,尽管效率低,总还能得到所需的超光滑光学表面。近年来出现的金刚石丸片式固着磨光抛光方法在效率上有很大的提高,但加工精度却达不到超光滑表面的要求。而现代科学技术的发展对表面质量的要求愈来愈苛刻,大尺寸、超薄形、粗糙度要求达到A量级,面
型要求达到λ/10—λ/20,令人望而生畏。科学上的不断探索,新加工方法的不断涌现,使这种高精度要求的超精密加工已经成为可能。本文提出一种新的光学抛光方法——低温抛光法,并做了一些实验,取得一定的进展和效果。
提高加工精度、提高加工效率是机械加工和光学加工,特别是应付不断涌现的难加工材料的超精密加工,是我们无法回避的挑战。为此,人们把不同的物理过程、化学过程应用到加工工艺方法的研究中,创造出许多新的工艺方法。在单点金刚石超精密切削的研究中,有人引入了低温切削技术,出现了许多新现象,并可超
精密切削黑色金属。本文还是从改变加工温度的角度考虑问题,在低温状态下,观察硬脆材料的研磨、抛光中的新现象,从提高加工精度和提高加工效率的原则出发,探讨低温状态下会有哪些新的结果。为此,我们提出了光学材料的“低温抛光技术”研究课题,经过一段时间的努力,取得了一定的实验结果,下面简述之。
2 低温抛光概念
物质在其所在的环境中表现出具有一定的温度,温度的高低和物理热直接有关,热的本质就是物质中原子不断振动的一种表现,温度高表示原子很混乱。而低温状态下,原子可以秩序井然,高温可以达到很高,原子的混乱程序不断加大,物质由固体到液体再到气体。而低温是有限的,℃是绝对零