文档介绍：第十一章激光干涉测量系统
§11-1概述
两频率相同,振动方向相同的光波叠加
I=I1+I2+2COS
λ为光波波长,Δ为光程差。
Δ=n1l1- n2l2 n1,n2为两光波所通过介质的折射率;
l1,l2为两光波传播的距离。
计算光程差时要注意从光疏媒质到光密媒质,光反射时(近于垂直入射)的“半波损失”,反射光振动方向与入射光相反,光程附加λ/2(相位为π)。
①2πm 即Δ= mλ(m为整数)
当光程差为波长的整数倍,干涉条纹为亮条纹(极大值)
②(2m+1)π即Δ= (2m+1)λ/2
COSδ
当光程差为半波长的奇数倍,干涉条纹为暗条纹(极小值)。
0
π
2π
δ
根据干涉条纹的特点(形状、间隔、颜色、位置)可测光程差,并直接测得与光程差有关的长度l与折射率n;还可测得与l、n有关的量:角度、粗糙度、直线度、气体密度等。
以测长为例:虽然相邻两干涉条纹光程差都为λ,但是干涉条纹是以λ/2为单位计量厚度或位移的变化的,如果进行电子细分,则有4细分(λ/8为单位),n细分(λ/2n为单位)。