文档介绍：机械部分目录
1. 综述·············································1
用途
技术特征
主要技术参数
附件
2. 设备安装与要求··································4
设备的工作环境
冷却水源与排水
电源
氩气源
泵组系统的排气管路
设备的平面布置及厂房高度
地基构造
操作平台
设备拆箱
设备安装
3. 炉子本体的结构说明
·································7
结构简述
坩埚轴驱动装置
主炉室
翻板阀
副炉室
籽晶驱动装置
副炉室及炉盖升降操作
主炉室升降操作
水冷系统
使用与操作
调整
准备与试运转
4. 真空系统与充气系统··································12
真空系统
主炉室抽真空系统
副室真空系统
真空计
密封
充气系统的使用
真空系统及充气系统的维护及注意事项
5. 维护与修理···········································13
坩埚轴驱动部件的维修
蜗轮、蜗杆减速器的维修
籽晶提拉部件的维修
伺服机组的维修
水冷系统的维修
翻板阀的维修
管道的维修
6. 拆装··············································15
坩埚轴的拆装
电极的拆装
卷丝轮的拆装
翻板阀的拆装
常见故障及排除方法·····································17
DRF-85 单晶炉机械部分说明书附图(F1~F18)·············· 20
电气部分目录
-ADC 单晶炉电气控制系统组成
1. 综述················································1
2. TRR-ADC 电气控制系统组成及功能······················2
TDR-ADC 晶体生长控制柜
TDR-SLCL(PLC)晶升埚升速度控制单机
TDR-SRCR 晶转埚转速度控制单机
TDR-TEMP 温度控制及工控机单机
控制柜继电控制单元
控制柜面板
加热功率部件
主加热功率部件
辅助加热功率部件(选件)
继电控制
液压系统的继电控制
真空机组的继电控制
辅助控制部分
HX-TDR 主机分线盒接口装置
HX-SEED2 引晶装置
TDR-LIN 晶升埚升计长板
限位开关
冷却水温度测量
晶体直径测量
3. DRF-85 炉TDR-ADC 电气控制系统接线说明···············7
DRF-85 单晶炉晶体生长控制柜接线说明
控制柜内元件接线
控制柜端子排接线
TDR 主机分线盒接线说明
主加热接线说明
-ADC 单晶炉电气控制系统安装调试
1. 安装说明············································1
控制系统配置
TDR-ADC 晶体生长控制柜
加热功率部件
DRF-85 单晶炉主机安装元件
接线说明
TDR-ADC 电控柜接线说明
功率柜接线说明
主机分线盒接线说明
2. 系统调试
TDR-ADC 晶升埚升速度系统调试
晶升速度调试
埚升速度调试
TDR-ADC 晶转埚转速度系统调试
晶转埚转速度交流伺服电机简介
晶转埚转速度调试
TDR-ADC 温度控制系统调试
TDR-TEMP 温度控制及工控机单机
加热温度控制器及三相全控桥功率部件
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