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文档介绍：第十六章表面分析方法概论
概述
X光电子能谱
俄歇电子能谱
扫描隧道显微镜(STM)与原子力显微镜(AFM)
6/1/2018
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HPU-LQ
概述
表面科学的主要发展始于20世纪60年代,它的两个最主要的条件是:
超高真空技术的发展
各种表面灵敏的分析技术不断出现
表面分析技术的发展与材料科学的发展密切相关,它们相互促进:
八十年代,扫描探针显微镜(SPM)的出现使(材料)表面科学的研究发生了一个飞跃;
LEED所用的LaB6灯丝,STM中用来防振荡的***化橡胶(Viton),AFM所用的探针等都是材料科学发展的新产物。
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HPU-LQ
“表面”的概念
过去,人们认为固体的表面和体内是完全相同的,以为研究它的整体性质就可以知道它的表面性质,但是,许多实验证明这种看法是错误的;
关于“表面”的概念也有一个发展过程,过去将1厚度看成“表面”,而现在已把1 个或几个原子层厚度称为“表面”,更厚一点则称为“表层”。
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HPU-LQ
表面分析方法的特点
用一束“粒子”或某种手段作为探针来探测样品表面,探针可以是电子、离子、光子、中性粒子、电场、磁场、热或声波(机械力),在探针作用下,从样品表面发射或散射粒子或波,它们可以是电子、离子、光子、中性粒子、电场、磁场、热或声波。检测这些发射粒子的能量、动量、荷质比、束流强度等特征,或波的频率、方向、强度、偏振等情况,就可获得有关表面的信息。
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HPU-LQ
探测粒子
发射粒子
分析方法名称
简称
主要用途
e
e
低能电子衍射
LEED
结构
e
反射式高能电子衍射
RHEED
结构
e
俄歇电子能谱
AES
成份
e
扫描俄歇探针
SAM
微区成份
e
电离损失谱
ILS
成份

能量弥散X射线谱
EDXS
成份
e
俄歇电子出现电势谱
AEAPS
成份

软X射线出现电势谱
SXAPS
成份
e
消隐电势谱
DAPS
成份
e
电子能量损失谱
EELS
原子有电子态
I
电子诱导脱附
ESD
吸收原子态及成份
e
透射电子显微镜
TEM
形貌
e
扫描电子显微镜
SEM
形貌
e
扫描透射电子显微镜
STEM
形貌
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HPU-LQ
探测粒子
发射粒子
分析方法名称
简称
主要用途

e
X射线光电子谱
XPS
成份
e
紫外线光电子谱
UPS
分子及固体的电子态
e
同步辐射光电子谱
SRPES
成份、原子及电子态

红外吸收谱
IR
原子态

拉曼散射谱
RAM