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上传人:85872037 2018/6/17 文件大小:893 KB

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文档介绍

文档介绍:椭偏光法测量薄膜的厚度和折射率
引言
实验目的
实验原理
实验仪器
实验内容
注意事项
实验数据
氦氖激光器:波长632,8nm;
硅衬底:,消光系数-;
样品测量
入射角60°
薄膜折射率
薄膜厚度/nm
厚度周期/nm
快速法



作图法

162
查表法


入射角65°
薄膜折射率
薄膜厚度/nm
厚度周期/nm
快速法



作图法

163
查表法


入射角70°
薄膜折射率
薄膜厚度/nm
厚度周期/nm
快速法



作图法

163
查表法


思考题
椭偏参数Ψ和Δ的物理含义是什么?消光时,它们与起、检偏器方位角P,A之间有什么样的表达式?
答:tanΨ表征了p波和s波经薄膜系统反射后的相对振幅变化,Δ表征其相位差θp-θs的变化。
消光时,
Ψ=A
∆=180-θp-θsi 当A>0-θp-θsi 当A<0
试分析本实验测量中系统误差的来源。
答:薄膜表面不干净会给实验带来系统误差,另外光路调节得不好也会给实验带来一定的系统误差。
参考文献
黄润生,近代物理实验(第二版),南京大学出版社