1 / 3
文档名称:

XPS定量分析探讨.pdf

格式:pdf   页数:3页
下载后只包含 1 个 PDF 格式的文档,没有任何的图纸或源代码,查看文件列表

如果您已付费下载过本站文档,您可以点这里二次下载

分享

预览

XPS定量分析探讨.pdf

上传人:ds6573 2015/6/21 文件大小:0 KB

下载得到文件列表

XPS定量分析探讨.pdf

文档介绍

文档介绍:程斌北京化工大学分析测试中心���锄��篶���蟟�産��甧�.��面菇面�鑫魑����糠治鎏教�为传输函数;��D芰啃U�蜃樱�杂冢甋『������槊舳纫蜃樱�蜴誇取�����钗9�亘坌盒量��米���家残颓���米故�星旦�堂���色器激发,采谱时的通能为��。这里我们主要对薄膜中的组分进行了分析测试。根据图����吴正龙北京师范大学分析测试中心������簑����甧如。��用��陨�ぴ诠杵�系念鸸杷嵫伪∧�约���厚��方�辛瞬饬浚琗�谱见图�1�膜表面出现明显的�������和��特征峰。所用��芷滓俏狤�����珹���方法������扑懔槊舳纫蜃臃ê�����经验灵敏度因子得到两种计算结果,如表��盈��罂��图�杷犷鹧����砻娴腦�谱表�煌�椒ḿ扑愕墓杷犷鹧�繁砻孀榉�����������盯�����方法�捎媚芷滓荅���的����软件中����灵敏度因子计算,归一化峰强��峰面积�募扑愎�饺缦拢�式中:�F淄贾胁饬砍龅姆迕婊�采用直线扣除本底方法�籗�猄����槊舳纫蜃樱籘��电子峰的动能,单位�,于是百分含量为:方法�采用用能谱仪�����的����软件中���灵敏度因子计算,类似于��蚤��望�������/��.����×①
而�取醪���】。再根据公式���蒔Ⅳ计算出相对含量,见表��式,不同的是式中即为���因子,觑’,取艮,其它因子和计算过程与方法��嗤��扑憬峁�方法�为经验灵敏度因子方法,是根据文献【�提供的���经验灵敏度因子,再经能量校正��仪器上采用����因子计算,结果相差较大,尤其是对于结合能相在表�猩婕暗念鸸杷嵫伪∧ぃ琗�结果表现为���和�����⑶夜鄄斓奖∧さ姆⒐馓匦浴疽�����坎饬恳恢笔侨嗣茄芯康哪烟猓�嚼丛绞艿饺嗣堑闹厥樱�颐抢�糜邢尢跫�鲆恍┨教止ぷ鳌�见表��吲后的计算方法。归一化峰强��峰面积�扑闳缦拢�这里�2饬糠迩�峰面积,用直线扣除本底�籗�为���总结出的经验灵敏度��籈�分析表�芍#��中不同方法计算结果存在差异,尤其�和�的含量结果相差较大。到底那种计算方法更接近于真值�源宋颐墙�辛艘恍┨教帧�我们曾经用玻璃���,���琙�和�����方�辛薠�测量验证���しⅲ��能����峁���。这些样品具有稳定的化合价,即化合物的元素化学配比固定。分析表��现,实验值与化学配比间的误差随阴阳离子光电子峰结合能差有关。于是,我们用方法��次�献【�刻峁┑姆椒�对结果进行了能量修正计算�词���峁���。经能量校正后,对阴阳离子结合能差异较大峰的定量结果有改善�鏩����】,虽然对于能量差异较小的峰,误差略有增加。而在����差较大的元素�戳谐黾扑憬峁�。在用������能谱仪实际测试中,