文档介绍：南京航空航天大学硕士学位论文
图 不同间距对阵列倒伏情况的影响........................................................................... 33
图 一级结构连桥现象................................................................................................... 34
图 二级结构模型........................................................................................................... 36
图 方案一“两次曝光,一次显影”........................................................................... 38
图 方案一制备结果....................................................................................................... 38
图 方案二“两次曝光,两次显影”............................................................................. 40
图 方案二制备结果....................................................................................................... 41
图 方案三“自上而下”............................................................................................... 42
图 几种不同形貌的二级结构阵列............................................................................... 43
图 弯曲顶端粘附模型及试验中阵列形态................................................................... 44
图 粘连、倒伏现象....................................................................................................... 45
图 超声振动使粘连的阵列末端部分开....................................................................... 46
图 厚胶直接曝光制备二级结构阵列........................................................................... 47
图 多功能摩擦磨损试验机系统 UMT-2 48
图 UMT 中 10g 量程的力传感器 48
图 标定结果曲线........................................................................................................... 49
图 粘附力测试过程....................................................................................................... 50
图 阵列(d =10μm)力学测试结果 50
图 软基底与硬基底结构阵列的粘附性能对比........................................................... 51
图 不同径向尺寸阵列力学测试................................................................................... 52
图 不同间距阵列力学测试..........................