电子器件可靠性评价与分析技术进展.ppt

文档介绍：第七章静电放电损伤及防护
静电的产生
静电----指物体所带电荷处于静止或缓慢变化的相对稳定状态。由同性电荷的积累而产生的,其特点是高电位及小电量。
产生静电的两种方式:
磨擦生电:两绝缘体直接接触后形成
感应生电:无直接接触的带电体和导体之间形成
影响因素:环境湿度和空气中的离子浓度有关
静电的产生:
磨擦生电
两不同电子化学势或费米能级的材料(绝缘体)接触时,电子将从化学势高处向低处转移,两者分离时,一部分电子来不及返回出处,使化学势低材料带负电,化学势高者带正电
所带电荷数与分离速度有关
感应生电
导体靠近带电体时,近端产生异种电茶,远端产生同种电荷,出现局部带电区域
磨擦生电顺序
静电源
人体静电—与人体电容、湿度、电阻有关
尘埃静电
对IC制造工艺的影响:光刻、外延、氧化
静电放电模型
,引起器件失效,可用HBM(Human Body Model)来描述放电:
HBM模型:
2. 带电器件放电模型(CDM)
带电器件通过引脚对地放电引起失效时,可用此模型(引脚间电势差也损伤)
半导体器件对静电放电的敏感度(2005B版-GJB548)—由器件结构、输入端静电保护电路的形式、版图设计和制造工艺所决定。
ESDS分级