文档介绍：无尘室相关标准
无尘室原理
无尘室衡量标准
无尘室验收标准
Contents
无尘室原理
无尘室概念:
以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部净化级别可达100~100K级,适用局部净化级别要求高的区域。
对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振的多功能综合整体。
无尘室原理
依据送风方式的不同:
可分为乱流式(非均匀流型)和单一方向式(均匀流型)。
Class 1~100 均采用单向流送风方式,即在同一截面的任一点,气流的方向和速度均保持一致,将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。靠送风气活塞般的挤压作用。新风量不小于总风量的2%~4%。
Class 1000 ~ 100000采用非单向流送风方式,以不均匀的速度呈不平行流动,伴有回流或涡流,主要靠气流不断稀释室内空气,将室内的污染逐渐排出,以实现净化。靠气流扩散来稀释。新风量不小于总风量的10%~30%。
测量单位:微米(micrometer),1um=1m的百万分之一。
无尘室衡量标准
洁净度——参照 STD-209E
无尘室衡量标准
Air Change & HEPA 遮蔽率
无尘等级
Air Change
(次/hr)
HEPA 遮蔽率
Class 100
240~480
50%~100%
Class 1000
17~240
10%~35%
Class 10000
10
8%~10%
Air change: FFU的表面积*风速*FFU数量/Clean Room体积
HEPA遮蔽率: FFU的表面积* FFU数量/Clean Room面积
无尘室验收标准
用Particle Counter (Met One)测空气中之粒子总数及大小(离作业面为30公分)。
依据ISO14644-1可分为三种操作状态:⑴完工状态-无制程设备、原料或工作人员。⑵完工后停止生产状态-室内有制程设备,不含工作人员。⑶运转状态-三者皆在工作状态。
无尘室验收标准
取样次数要求
单一方向气流的测试数量
方法一、气流的流入体积/25
方法二、气流的流入体积/洁净度等级的平方根
选数字小者
非单一方向气流的测试数量
方法:气流的流入体积/洁净度等级的平方根
例如:计算iMac所使用的洁净室的测试数量
(*3+*+*+*+*)*/ =3次
例如:计算M97所使用的洁净室的测试数量
方法一、(16**)m/25=3次
方法二、(16**)m/ =7次