材料成份分析 PPT.ppt

文档介绍：材料成份分析
第三章
§1 特征X光成份分析
SEM与EDS
X荧光能谱仪(XRF)
2018/8/2
3
§ 特征X光成分分析仪的种类
X射线能谱仪(EDS)
X射线波谱仪(WDS)
X荧光能谱仪(XRF)
相似之处:
,均是利用莫斯特定律;
2. EDS和XRF接收器均用Si(Li)半导体探测器;
(方便)。
不同之处:
,电子束,X光束;
,μm级,mm级;
,由于气体对X光的吸收,以及铍窗的影响,EDS:Z=4硼(B)~92铀(U) ,
XRF: Z=11(Na)~92(U) ;
氢和氦原子只有K 层电子,不能产生特征X 射线。锂(Li)和铍(Be)虽能产生特征X 射线,但产生的特征X 射线波长太长,λLi=23nm,λBe=.
4. 对样品的要求不同,XRF可分析液体样品,甚至气体样品;
5. EDS和XRF可多元素同时分析,
WDS是分时分析。
§ 电子探针仪(EDS,WDS)的原理
电子探针的主要功能是进行微区成分分析。
使用细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品元素的特征X射线,分析X射线的波长,即可知道样品中所含元素的种类。
分析特征X射线的强度,可知样品中对应元素的相对含量。
电子探针的检测极限(能检测到的元素最低浓度)一般为(-)wt%, 不同测量条件和不同元素有不同的检测极限,但由于所分析的体积小,所以检测的绝对感量极限值很小。
电子探针仪信号检测系统是X射线谱仪:
用来检测特征波长的谱仪叫做波长分散谱仪(波谱仪,WDS)。
用来检测特征能量的谱仪叫做能量分散谱仪()。
WDS
EDS
§ 波谱分散谱仪(波谱仪,WDS)
(一)工作原理
在电子探针中的X射线是从样品表层以下一个微米乃至纳米数量级的作用体积激发出来的。
采用分光晶体对所激发的不同元素所产生的X射线进行分光。
接收器可记录不同波长的X射线,并显示出来。接收器不需要鉴定波长。