第一章电镜结构.ppt

文档介绍：电子显微分析
2001年7月
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基本内容
1 电镜的结构与成象
2 电镜中的电子衍射及分析
1)斑点花样(原理、实验方法、指数标定及应用)
2)菊池线花样(原理、指数标定、应用)
3)会聚书束花样(原理、实验方法、指数标定及应用)
3 电镜显微图象解释
1)复形象
2)衍衬象
3)相位象
4 扫描电子显微术
5 X射线显微分析和俄歇能谱分析
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第一章电镜的结构与成象
光学显微镜的局限性
1)一个世纪以来,人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组织,借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限, 区(几十埃)无能为力。
2)最小分辨距离计算公式

其中——最小分辨距离
——波长
——透镜周围的折射率
——透镜对物点张角的一半, 称为数值孔径,用 表示
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3) 由于光的衍射,使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成一B1 、 B2圆斑(Airy斑)。若O1 、 O2靠的太近,过分重叠,图象就模糊不清。
O1
O2
d
L
B2
B1
Md
强度
D
图(a)点O1 、 O2 形成两个Airy斑;图(b)是强度分布。
(a)
(b)
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图(c)两个Airy斑
明显可分辨出。
图(d)两个Airy斑
刚好可分辨出。
图(e)两个Airy斑
分辨不出。
I

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4)对于光学显微镜,,—,而可见光的波长有限,因此,光学显微镜的分辨本领不能再次提高。
5)提高透镜的分辨本领:增大数值孔径是困难的和有限的,唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。
电子的波长
比可见光波长更短的有:
1)紫外线——会被物体强烈的吸收;
2)X 射线——无法使其会聚;
3)电子波
根据德布罗意物质波的假设,即电子具有微粒性,也具有波动性。电子波
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3)磁透镜结构剖面图
图1-2
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4)磁透镜使电子会聚的原理
O
O’
z
图1-3(a)电子在磁透镜中的运动轨迹
A
C
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