文档介绍：去除磷硅玻璃
1
在扩散过程中发生如下反应:
POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面, P2O5与Si反应生成SiO2和磷原子:
这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2,称之为磷硅玻璃。
什么是磷硅玻璃?
2
磷硅玻璃的去除
氢***酸是无色透明的液体,具有较弱的酸性、易挥发性和很强的腐蚀性。但氢***酸具有一个很重要的特性是它能够溶解二氧化硅,因此不能装在玻璃瓶中。
在半导体生产清洗和腐蚀工艺中,主要就利用氢***酸的这一特性来去除硅片表面的二氧化硅层。
3
氢***酸能够溶解二氧化硅是因为氢***酸能与二氧化硅作用生成易挥发的四***化硅气体。
若氢***酸过量,反应生成的四***化硅会进一步与氢***酸反应生成可溶性的络和物六***硅酸。
总反应式为:
4
去除磷硅玻璃工艺
清洗液配制
装片
开机
投片清洗
甩干
5
清洗液配制
将各槽中破损硅片等杂质清除,用去离子水将各槽壁冲洗干净。
1号槽中注入一半深度的去离子水,加入氢***酸,再注入去离子水至溢流口下边缘。
向后面的槽中注满去离子水。
6
检验标准
当硅片从1号槽氢***酸中提起时,观察其表面是否脱水,如果脱水,则表明磷硅玻璃已去除干净;如果表面还沾有水珠,则表明磷硅玻璃未被去除干净。
甩干后,抽取两片硅片,在灯光下目测:表面干燥,无水迹及其它污点。
9