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文档介绍

文档介绍:苏州大学
硕士学位论文
非掺杂氧化锌的光致发光特性研究
姓名:李伙全
申请学位级别:硕士
专业:凝聚态物理
指导教师:宁兆元
20040401
中文摘要关键词:∧ぁ⒐庵路⒐狻⒑蟠怼⒗豆夥⑸洹⒙坦夥⑸一———————————墨堡量墨些壁塑堂塾垄垄堑竺底上制备得到了高质量的多晶∧ぁO低车匮芯苛顺粱跫远嗑薄膜沉馐员砻鳎票傅谋∧ぞ哂懈叨鹊取向性;馐员砻鳎票傅研究了源气体中氩气和氧气的流量比、后处理温度对薄膜发光谱的影响。结果证的结晶度,从而会增强紫峰发射。可见光波段的蓝发光峰和绿发光峰则与薄膜中的氧指导教师:宁兆元电薄膜、压电薄膜、光电子器件、气敏和湿敏器件而具有广泛的应用前景。已经引起了越来越多研究者的关注。本论文主要工作是多晶∧さ闹票负凸庋匦匝芯俊采用射频反应溅射法,以高纯度汉虯魑=ι涔ぷ髌澹晒Φ卦趎型硅衬积速率的影响,分析了溅射功率、气压、靶矧距对∧こ粱俾实挠跋臁2捎薄膜致密、均匀。实,由激予复合形成的紫发光峰与薄膜的结晶状念密切相关,加热后处理能改变薄膜和锌缺陷有关,通过制备时氧气流量的变化,以及在缺氧和富氧环境下的后处理可以调节这些缺陷的浓度,从而改变薄膜的发光峰位和强度。从导带底到锌缺陷形成的受主能级之问的跃迁可能是产生蓝光发射的原因,由氧缺陷形成的施主和锌缺陷形成的受主之间的跃迁可能是形成绿光发射的原因。加热后处理温度是重要的参量,它控制了加热过程中薄膜的氧化和氧的解吸附之间的平衡,从而控制了薄膜中的各种缺陷浓度分稚。者:李伙全多晶∧な且恢侄喙δ芸泶堆趸锇氲继灞∧げ牧希梢宰魑M该鞯对薄膜的结构进行了表征。作
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研究生签名:纽金日期:盒停后苏州大学学位论文独创性声明及使用授权的声明期:丕业垒学位论文使用授权声明学位论文独创性声明期:豪文的复印件和电子文档,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论州大学或其它教育机构的学位证书而使用过的材料。对本文的研究作声明的法律责任。苏州大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆、清华大学论保密论文外,允许论文被查阅和借阅,可以公布ǹ论文的本人郑重声明:所提交的学位论文是本人在导师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不含其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果,也不含为获得苏出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人承担本文合作部、中国社科院文献信息情报中心有权保留本人所送交学位论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。除在保密期内的全部或部分内容。论文的公布ǹ授权苏州大学学位办办理。研究生导师签日
第一章引言氲继骞獾缱有畔⒐δ懿牧系难芯勘尘凹耙庖多。这就在很大程度上避免了因高温生长而导致的膜与衬底间的原子互扩散——这种§氲继骞獾缱有畔⒐δ懿牧系幕咎匦物。粉末形态的壮啤靶堪住保0咨ǚ勰蕹粑尬叮奚锒拘裕尤群蟪哂泻芨叩耐干渎~%纱嫖犷作为太阳能电池的透明电极。薄膜可以在低于娴奈露认律ぃ脖萙虶的生长温度低得且恢置嫦兰偷男滦透吖δ芫肝藁罚且恢殖<慕鹗粞趸浅黄色,密度为痗,熔点。⑷苡谒苡谒嵘上嘤Φ难巍是一种自激活的具有六方纤锌矿结构的桶氲继澹Ц癯J籥.,T谄渚宓慕峁怪校扛鲂吭佑胨母鲅踉影此拿嫣迮帕小A嚼嘣琌髯宰槌梢桓隽矫芏鸦峁沟挠韪褡樱饬礁龈褡友豤轴平移套购,从而构成纤锌矿结构。。尤其是它具有很高的激子结合能洞笥赯和的激子结合能,激予不容易发生热离化,因此具备了发射蓝光或近紫外光的优越条件。在可见光和红外波段,扩散常在膜与衬底的界面形成一个薄的高掺杂图虿⒉悖ù蟮赜跋炝苏瞿げ愕电子输运性质。⒕哂薪洗蟮墓獾珩詈舷凳⒔系偷奈露认凳徒闲〉.
一———————笪二妻—呈堕堡空蔓些壁塑垄塾茎垄塑生竺塞氲继骞獾缱有畔⒐δ懿牧系闹饕T擞压电特性是指电介质在压力作用下发生极化而在两端表面间出现电位差的性质“’。褪且恢至己玫难沟绮牧希唤鲅沟缧郧浚揖哂谢灾饰榷ā⒛腿取电阻率大和容易制备得到高质量薄膜等特点,使得沟绫∧た捎糜诒砻嫔ㄆ好的材料,其可见光波段透过率越低,反之亦然。∧ぶ跃哂型该魈匦裕因为其带隙宽度较大,短波吸收线大约为欢杂志哂械嫉缧裕且蛭当薄膜中和幕Ъ屏勘绕ɡ:⒈∧ぶ杏醒蹩瘴弧⑻钕缎吭拥仁┲,材料的某一项或者多项参数发生变化的特性“’。∧さ钠艉褪C籼匦缘谋曛静单地说,具有这种特性的物理机制是多晶体∧ぞЯN式绱Φ奈胶屯迅阶饔茫这种作用会在材料禁带靠近