太阳能电池扩散tempress设备结构.ppt

文档介绍：Tempress 扩散炉
Tempress 扩散炉设备包括三个部分:
Loadstation、Furnace、Gas system 三个部分。
Loadstation部分是控制舟浆进出炉管。
Furnace的作用是对炉管加热,
为工艺提供合适的外部条件。
Gas system 的作用是提供整个的扩散气体,
保证气体的供应及管内压力的平衡。



DPC(digital process controller)是基于微处理器的
控制器,整个扩散炉的控制是由DPC所控制,
它是整个扩散炉的控制中心。它包括两部分:
一个是过程控制器,另一个是触摸屏和TSC电脑。
它可以通过工艺顺序控制舟浆的进出和气体的流量,
它选择一个温度方案通过DTC实现实现温度控制,
而它是与DTC直接通信,
这样就保证了数据快速准确的传输。
DTC
Tsc电脑
DMC
触摸屏
Cesar 控制电脑


(工艺时间,温度,压力,
气体流量)
,停止或取消工艺




,报警,中止(气体流量,温度,压力)



Cesar 控制电脑