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研究论文"
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" 一种新型多晶硅还原炉流动与传热的数值模拟
黄哲庆!刘春江!袁希钢
!天津大学化工学院"化学工程联合国家重点实验室"天津+)))9##
摘要$在传统多晶硅还原炉结构基础上"提出了一种内部流场为平推式流动的新型多晶硅还原炉"并采用计算
流体力学方法研究了该还原炉内的速度场和温度场%流场模拟结果表明"新型多晶硅还原炉内混合气的流动基
本上实现了平推式流动&温度场模拟结果发现"通过改变操作参数"采用平推式流动可实现炉内温度场的控制"
解决了传统还原炉局部温度过高的问题"可避免硅粉的产生"长期保持还原炉内壁面的抛光效果"降低还原炉
辐射电耗&计算结果表明"在相同的条件下"采用新型多晶硅还原炉的还原电耗较传统还原炉可降低:';<%
关键词$多晶硅&还原炉&数值模拟
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中图分类号$B(+!!!!!!!文献标志码$C 文章编号$)"+:D**;9 !#)*+#)#D)":"D)!
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