文档介绍：使用说明书
名称:多晶硅提纯铸锭炉
型号:WZL-460
吴江亿泰光伏设备有限公司
1、安全
安全标志
在设备的右上方设有常规报警警灯,高危报警警灯,操作人员对警灯的响起必须引起高度的重视,并认识其严重性。对此警灯的不同颜色的闪烁操作人员必须充分理解。
红色高危报警铃
表示及其危险,如果不注意会导致人身严重伤害或死亡。
红色警灯亮起
表示设备正处在停止运行状态。
黄色报警灯亮起并报警
表示设备出现故障,需要及时排除,否则将导致危险的发生。
绿色报警灯亮起
表示设备正处在正常运行状态。
注意安全操作,防范事故发生。
电力高压部分,非专业工作人员禁止触摸。
高温状态禁止打开炉门,否则有爆炸的危险。
高温状态炉内禁止放入大气,否则有爆炸的危险。
安全注意事项
1)设备的腔体在真空状态下,,如出现低于该真空度的现象表明设备可能出现泄漏,必须停炉请专业人员检查修复,否则将引起设备损坏或出现爆炸的危险。
2)设备在充气状态下,原则上腔体内部的压力不会大于900mba,如果大于以上的压力,表明炉内出现异常,或充气阀损坏,或炉内出现漏硅等,也应及时请专业人员检查修复否则有爆炸的危险。
3)在生产过程中由于断电等原因在高温状态下出现急冷,该炉内的硅料不可重复加热,以防坩埚破裂在高温状态下出现漏硅产生爆炸。
4)在打开炉门时,炉内的温度必须低于在200度以下,炉内炉外的压力必须保持基本平衡,否则将带来损坏设备的危险。
5)维修人员必须穿戴维修专用服装,穿上绝缘性比较好的橡胶鞋,防止触电发生。
6)中频电容的电容柜、电控柜,是高压产生的地方,严禁在有高压状态下接近和触摸,出现故障应由专业及时人员进行维修。
7)电器维修人员必须由两人以上操作人员,方能进行维修,确保正确操作,以防意外发生。
8)遇到设备故障,不能想当然的做一些没有根据事实的操作,任何事情都必须在有依据的情况下进行操作,当问题无法解决时,应请专业技术人员来维修。
9)设备在自动运行过程中,不可随意切换到手动,必须具备专业操作水平的人员方可操作,操作人员必须了解手动操作后的运行后果,确保设备运行安全。
10)当设备发生常规报警或高危报警时,必须头脑清醒冷静对待,切不可慌乱,确定报警产生的原因,谨慎地处理问题,因设备壳体装有两个大口径防爆装置,爆炸前必然会有泄压过程的产生。
11)设备在安装时必须配有备用电源和备用水源,以防止设备高温状态突然断电,炉内冷却腔体和中频线圈无法供水,炉内无法实现抽真空,而导致设备损坏,发生爆炸危害人生安全。
12) 设备配有充气系统,保证炉内在长晶或退火或冷却过程中的热传导和热交换,所以氩气必须有保障性地提供,当出现管道泄露或者一些其他情况时,应及时关闭充气阀门,以防止外部大气进入炉内,发生爆炸,并请专业人员及时修复。
13)设备配有压缩空气供气系统,-,主要应用于一些气动阀门的开启和关闭,
供气中断会影响设备的正常运行,设备在运行过程中必须保证压缩空气的正常供给。压缩空气设备是一个专业设备,必须由专业人员维修保养。
14)设备在抽真空管路上开设有安全人孔,以防止被提炼物高温状态下垃圾进入扩散泵,需经常打开人孔盖及时检查或清洗。在进入人孔时必须两人配合操作,以防意外发生。
15)该设备共有三套升降机构,即炉盖升降机构、坩埚升降机构、隔热门升降机构,各升降机构在运行过程中严禁触摸运行部分,以防止对人体造成伤害。
16)当硅锭从炉内出炉时,由于是急速冷却的作用,坩埚会出现爆裂的现象,所以在硅锭还没有完全冷却的状态下不要靠近,以免飞溅的陶瓷片伤害人体,在必要时可带眼镜或防护罩造作。
2、开炉前的检查
加热系统的检查
1)加热系统是设备运行的主要部分,炉内的发热是通过中频线圈通电形成电磁场致使石墨发热导体发热,再通过真空辐射的方式使硅料预加热,当硅料加热到导磁后再自身产生发热。我们在开炉前必须检查中频线圈和碳复合毡及炉体的绝缘性,测量的绝缘电阻必须大于2千欧姆以上。
2)中频加热的线圈的内部是通水冷却的,以保证线圈在高温状态下能正常工作,所以我们在加热前必须先通水给予压力,检查中频线圈是否漏水或完好,防止不良后果的产生。
3)中频线圈的电极接口是高温产生的地方,电极杆和出口法兰是依靠胶圈来密封的,所以应经常检查胶圈是否完好,以免泄露造成不良后果。
4)石墨发热体为拼接式,四周的链接是靠石墨螺栓来连接,故应经常检查高温过后的完好性,防止加热过程出现故障。
5)保温材料经过高温后会产生一定的变形量,经常检查紧固螺母是否松动