文档介绍：微波烧结炉操作说明
大连交通大学环境与化学工程学院
物质吸收微波的能力,由介质损耗因数决定,介质损耗大,则加热后温度高。物质不吸
收微波,需用碳化硅坩埚提高加热效果。
1. 开总电闸、机柜电闸。
2. 打开磁控管冷却水的进水阀,水流量大于 199,调至 1000 左右流量。
3. 观察机柜中各冷却水软管是否渗水、漏水。如有此现象,停止操作,待修。
4. 样品放置,石英转盘上依次放置保温砖、保温棉,坩埚用保温棉包裹。
5. 红外对焦,按一下红外对焦仪的最上按钮,可看到红外焦点,使焦点对准坩埚中心;对
焦后,关闭红外对焦,并确认。
6. 关闭炉门,如果炉门右侧有缝隙,需将炉门轴的连接处向里推。
7. 确认控制面板的“放气阀”关,机柜中手动放气白阀关,真空泵抽气阀关,真空泵水阀
开,点控制面板的“真空 1”,打开真空泵,微开真空泵手动抽气阀,顺序不可颠倒。(如果颠
倒顺序,由于抽气瞬间的气量太大,真空泵的出水管会剧烈震动,水四处喷溅)。
8. 设置真空上下限,控制面板中真空度,点上限,设置 KPa,点下限,设为 KPa,
真空度在上下限之间变动,最低真空度由水环泵的特性决定。(真空抽气管处的自动阀动作:
真空泵启动,电子抽气阀开,开始抽气,至真空下限值,阀关闭,炉腔压力回升至上限值,
阀开,继续抽气,即上限值为阀开启,下限值为阀关闭)
9. 设置温控仪的加热程序
长按 SET 键,4 s 后进入编程,依次按 SET,分别显示 TD(00 是以秒计时、01 是以
分钟计时)、STA(00,加热起始段号)、LOOP(00,程序运行终止后,再次重复运行的起
始段号,适用于多次热处理),以上默认设定值均不动。
以下参数可以更改,TI00 是加热起始段的加热时间,SU00 是加热起始段的终止温度,
“∧”键增加设定值,“∨”键减小设定值,“<”光标左移,可修改光标处的数字,每个参数设定完
后,点 SET 保存,同时显示可修改的下一参数,以此类推,依次设定 TI01、SU01、TI02、
SU02、TI03、SU03……,最后一段,加热终止,TI**的设定值为 0,SU**的设定值为 0,程
序运行至该段,微波停止加热。长按 SET 键,退出至实时显示界面。
注意:①温控仪的最低设定、实时显示温度为 350℃;②SU00 的设定值应超过 350℃,
(否则温度显示实际值一直为 350℃,故障)TI00 是 350℃至 SU00 目标值的时间。②如实
时显示界面的当前加热段不是起始加热段 00,应按 SET 键同时按“<”,进入起始加热段,即
00 段。③升温速率应与材料的吸波能力、微波加热功率相匹配,对于碳化硅材料,升温速率
为 1 ℃/2s。
如加热过程中,要从当前段跳入下一段加热,必须在自动控制状态下,即 SEG 段号显
示值后有“.”,此时,点 SET 的同时,按“∧”键。
如在加热中,突然要停止加热,按“<”,进入暂停,PV 值控制在当前时间的 SV 值上,
控制面板“微波”关。
10. 微波加热
温控仪的实际 PV 值只有在 350℃以上时,微波加热才可实现自动控制。由室温加热至
350℃时,微波手动控制,控制面板,点“微波”,手动加减微波,同时确认