文档介绍：抽真空步骤及注意事项
首先检查真空容器所处状态,处于真空下或者处于大气中。决定了两种启动真空设备的程序:第一种,真空下操作程序。第二种,大气状态下操作程序。注意:第一次启动要先打开ESP—A总控电源,总控电源上面三个灯表示三相电,三灯全亮表示正常。
1、如果容器处于低真空状态下,不能立即打开闸板阀以免引起真空油的回流。正确的操作步骤是先打开水龙头,然后打开机械泵(注:按下机械泵的启动键),同时打开ZDF—IV真空计电源,观察真空计读数到达30Pa左右时,再打开分子泵(注:先按下FDK—600K总电源,然后按下启动键),看到分子泵的工作频率达到50Hz左右时方可打开闸板阀。
2、如果容器处于大气下,首先要做的是检查大漏,即关闭容器大门和放气阀。然后打开水龙头,闸板阀,机械泵,ZDF—IV真空计电源,观察真空计读数到达30Pa左右时,再打开分子泵(注:先按下FDK—600K总电源,然后按下启动键)。
3、等到分子泵正常工作后(工作频率稳定在450Hz),按下真空计中电离计单元的启动键对真空度进行观测。
4、在真空达到Pa时可以打开离子泵,此时先关闭分子泵处的闸板阀,但不要关闭分子泵,等到离子泵的电压达到4000V时(离子泵稳定工作后)再关掉分子泵,机械泵。
5、如果不需要维持真空时,先关掉真空计电源,后只需要把离子泵的闸板阀关闭即可,不关闭离子泵,而是让离子泵处于工作状态保持其内部环境。(注意:烘烤与离子泵不能同时打开,烘烤的目的是为了让离子泵更好的工作,需要时可先烘烤,关闭烘烤后在打开离子泵开关。一般不需要打开烘烤。)