文档介绍：第七章洁净室的气流组织
7-1 洁净室的分类
洁净室的主要功能是:
;
;
。
洁净室的气流组织就是要对上述三项功能予以保证。
从气流组织上看,洁净室的气流组织可分为三大类:
一、乱流洁净室
包括:
过滤器(或过滤器机组)顶送;带扩散风口过滤器顶送;局部孔板顶送;局部阻尼层顶送;双层壁回风顶送;风口侧送;风口斜送;散流器顶送;扩散诱导风口顶送。
二、层流(平行流)洁净室
地面满布格;
栅(孔板)回风式;
两侧下回风式;
周边压出式;
两侧双层壁回风式;
顶棚满布过滤器送风式;
全孔板送风式;
顶棚满布阻尼层送风式。
直回式;
隧道式;
一侧回式;
双侧回式;
;
上回式;
对送中间回式;
一字形串联式;
往复式串联。
三、局部层流洁净室
(垂直式,水平式)
7-2 乱流式气流组织
一、乱流式气流组织特点
,把室内尘粒逐渐排出去,直至达到平衡。
,室内发生的尘粒可向任一点扩散,所以浓度分布能较快均匀,同时换气次数增大到一个界限时,室内含尘浓度不会再有明显下降,而能达到的空气洁净度级别有一个界限,大约在1000级以下。当发尘量很少时,也可能达到更高级别,但较难维持。
二、设计要点
1、保持正压
①加压空气量
洁净室内加压空气量主要决定于渗漏风量,若以换气次数表示加压风量,可参考表7—1,在概算时,换气次数取2-3次。
加压所需换气次数表7—1
室内加压程度
(Pa)
所需换气次数n(双扇门)
(次/h)
所需换气次数n(单扇门)
(次/h)
(1)
()
(2)
(3)
()
4
6
4
注:加压栏中( )内数字单位为 mmH2O
②加压控制
加压程度要考虑围护结构强度,开门是否方便等因素,一般控制和邻室压差在5-20Pa(-2 mmH2O)范围内。
2、局部发尘的控制
由于乱流洁净室内气流是乱流,尘粒可以扩散到室内任何地点。如果局部地点发尘,对发尘点不加以控制,就会影响全室。即使增加换气次数,效果也不会很明显,因此最好的办法是从局部气流组织的处理上着眼,即对局部发尘设备加以围挡和局部排风。
如果是产生有毒有害气体的场合,除控制气流组织外,还应对排风进行处理,达到环保要求后再排出室外。
7-3 层流(平行流)气流组织
一、层流气流组织特点
层流气流是主方向气流,几乎没有横向之间的掺混和扰动,就整个洁净室而言,层流气流成为一个“活塞”,可以迅速排除室内的污染空气。由于是层流,所以,污染从发尘到排出,也大体是顺着气流方向进行的,较少被稀释,一旦有污染发生,在其下风侧的污染可能性就比乱流气流大得多。
二、设计时应注意的问题
如果过滤器有漏尘发生,就使层流气流组织的优点打了折扣,所以应力求避免漏尘,对过滤器边框