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第卷第期仓扇学衄
年月
纳米膜形成过程的扫描隧道显微镜观察
谢天生杜昊孟祥敏、孙超。闻立时。
】中国科学院金属研究所固体原于像开放研究实验室沈阳
中国科学院金属研究所沈阳
摘要用醯控溅射方法在聚台物薄膜基体上制备出同厚度的纳米膜扫描隧道显徽镜】的观察结果表明初期膜
是由直径小于的形棱粒子和粒子团聚体组戚粒子沉租呈岛状生长形成蚋米晶粒结构随薄膜厚度增Ⅱ平均晶粒尺寸增
加形成大尺寸晶粒的连续薄膜分析和讨论丁薄膜生长过程的结构特征及摊射条件对薄膜结构的影响
关键词磁控溅射,
中圉法分类号文献标识码文章编号——

一

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纳米金属薄膜在尖端微电子器件的制造和组装及征等都有直接关系扫描隧道显微镜具有纳米乃

能材料,又可作为多层膜复合体系的组元,因而成为纳米图像,是观察薄骥表面结构的理想手段本研究旨在利用
材料领域中重要的研究对象【.金属纳米薄膜由纳米尺在纳米尺度对薄膜的表面形貌、结构特征进行观察
度的晶粒组成,,为进一步探
膜的特性取决于纳米粒子的各种效应和结构特征关于金讨薄膜结构与其性能的关系打下基础.
属纳米薄膜性能诸如电磁性、微波吸收等与薄膜厚度实验方法
关系, 的研究较多,而研究薄膜结构对性能影响的报

道甚少

实际上薄膜性能与其制备方法、处理工艺及结构特
既要求尽可能少的粒子数目,有利于观察粒子与材底的相
互作用和分布状态,又必须具有一定的导电性才能适台于
的观察本文利用磁控溅射方法如图所示制
国家自然科学基金和资助项目各出不同厚度的薄膜样品
收穑日期:
作者简介: 谢无生男,
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金属学报卷

膜系统真空度.×~ ,

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此沉积均匀膜层较厚而两佃粒子的密度较低且相对样状结构的纳米晶粒
品基体成大角度掠射沉积的膜层较薄采用这种方式可
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保证在同一溅射条件下制备出连续厚度的薄膜样品
对样品进行分区观察可对溅射粒子与基体的相互作
用,岛状生长过程中的结构变化进行分析探讨制备方
法、工艺参数对薄膜结构的影响以及结掏与性能的关系