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LED工艺制程 good.ppt

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LED工艺制程 good.ppt

文档介绍

文档介绍:LED工艺简介
LED 发光管是怎样练成的
衬底材料生长或购买衬底
LED结构MOCVD生长
芯片加工
芯片切割
器件封装
Sapphire蓝宝石 2-inch
衬底片
氮化物LED发光管的器件结构及发光机理
electrons
电子空穴复合发光
P 欧姆接触
N 欧姆接触
蓝宝石或碳化硅
MOCVD外延
蓝宝石
缓冲层
N-GaN
p-GaN
MQW
第一步清洗
有机物
金属离子
第二步n区光刻
刻蚀
Cl2+Bcl3+Ar
去胶
3#液
p电极蒸发

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