文档介绍：芯片生产工艺流程(课件)
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单晶拉制(1)
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单晶拉制(2)
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单晶拉制(3)
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单晶拉制(4)
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单晶拉制(5)
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环境和着装
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单项工艺-扩散(1)
卧式4炉管扩散/氧化炉
扩散/氧化进炉实景图
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单项工艺-扩散(2)
立式扩散/氧化炉
扩散/氧化进炉实景图
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单项工艺-扩散(3)
扩散工序作业现场
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