文档介绍：】中华人民共和国建材行业标准透明石英玻璃坩埚中华人民共和国工业和信息化部发布发布凳/疶备案号:代替/.
刖日—给出的规则起草。该魇⒉Aй巅觥泛蚃疶蚃疶——本标准将/——增加了术语和定义章——增加了产品分类章——修改了对、、石英坩埚十三种杂质元素总含量的要求.,年版的第本标准由中国建筑材料联合会提出。——/疶本标准按照/本标准代替/该魇玻璃坩埚》。与/啾龋嗉孕薷耐庵饕<际醣浠缦拢泻喜;一一增加了检验规则章一一增加了对标志、包装、运输和贮存的要求章本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会/归口。本标准主要起草单位:中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院。本标准主要起草人:张浩运、吴洁、杨学东、郑丽英。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:,—
透明石英玻璃坩埚单晶硅生长用石英坩埚——高纯透明石英玻璃坩埚;一一透明石英玻璃坩埚;——内涂层高纯透明石英玻璃坩埚。段本标准规定了、和三种透明石英玻璃坩埚的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体工业生产单晶硅用的透明石英玻璃坩埚。娣缎砸梦募下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本ㄋ械男薷牡适用于本文件。/石英玻璃化学成分分析方法透明石英玻璃气泡、气线检验方法⒉A任榷ㄐ允匝榉椒跤锖投ㄒ界定的术语和定义适用于本文件。掷透明石英玻璃坩埚分为三类:际跻G规格尺寸、透明石英玻璃坩埚的形状和规格尺寸及偏差符合图氨韑的规定。”.
煌饩叮缓穸龋、透明石英玻璃坩埚规格尺寸及偏差鬟:::监:,—.!8叨取图该魇⒉Aй巅表底半径同一横截面的厚度公差:::内涂层高纯透明石英玻璃坩埚的形状和规格尺寸及偏差符合图氨的规定。说明:肝—一底半径单位为毫米外径高度厚度范围注:外径的坩埚的规格尺寸及偏差由供需双方商定。~~±甇~.猯’
内涂居高纯透明石英玻璃坩埚规格尺寸及偏差单位为鼍米猼表,
.又试K睾质元素的总含量应不大于。其中:铝含量应不大于埃坑Σ淮笥.“,铁含表续坩埚坯体部分外观质量应符合表墓娑ā表坩埚坯体部分外观质量直径/丝状长径/坩埚口部不得有缺口,不得有深、宽大于У谋砥け缆洹性市硗该骺帕N直径在咖~姗觥物理化学性能高纯透明石英玻璃坩埚高纯透明石英玻璃坩埚的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钴、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂量应不大于×一,硼含量应不大于ד,钾含量应不大于一,钠含量应不大于外观指标项目一级二级透明颗粒允许数量/觯波纹/桔皮不允许按标样云雾坩埚口部应细磨谕獾菇或烧圆。不得有缺口,不得有深、宽大于谋砥け缆洹坩埚表面光滑整洁,内表面不允许有色斑。不允许有沾污和析晶。注喝毕菘矶刃∮诘阕聪孪薜陌此孔醇扑恪注悍窃残稳毕莸闹本栋此闶跗骄导扑恪弧度部分气泡直线部分允许数量/觯痚长径/暗疤允许数量/酰色斑点状直径/允许总数/觯透明颗粒允许数量/觯痠坩埚内表面不允许有色斑、沾污和析晶。坩埚内表面涂层上每,≤≤.~.“。。
内涂层高纯透咀石英玻璃坩埚钾、硼十三种杂质元素的总含量应不大于×F渲校郝梁坑Σ淮笥×坑Σ淮笥×坑Σ淮笥..硼含量应不大于ד,钾含量应不大于,钠含量..巅雠魈寤С煞“。其中:铝含量应不大于×酰坑Σ淮笥埃坑Σ淮笥,硼含量应不大于埃睾坑Σ淮笥×坪坑Σ尺等器具进行测量:厚度采