文档介绍：围煎垒盛】岛王巍教授电路与系统论文提交日期丝生章畚拇鸨缛掌诘月旦王晓磊论文评阅厶塞堑龌婴塞旦生垦皇王叠堇塞圄至鱼所年硕士研究生指导老师学科专业答辩委员会主席李儒章研究员中国电子科技集团所日
学位论文作者签名:王啦磊多独创性声明学位论文作者签名:王目丸磊学位论文版权使用授权书签字日期:矽,,年厂月/万日重庆鲣电盔堂阥月重麽邮电太堂本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢签字日期:畂本学位论文作者完全了解重迭邮电太堂有关保留、使用学位论文的规定,有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ导师签名:签字期::畂年铝笕意。
摘要随着国家和社会对环境保护的要求越来越高,控制汽车尾气污染日益被重视。为了控制汽车尾气中排出有害成分,必须控制汽车发动机空燃比,检测汽车尾气中的氧浓度是控制空燃比的重要一环。传统的氧气传感需要参比气体、成本高、体积大,不符合气体传感器集成化、微型化,多功能化的发展趋势,市场呼唤新型氧传感器。魑?斫牟牧希涤辛己玫男阅埽芄怀惺芨呶隆⒎浜透蚀等恶劣情况,备受关注。宕ǜ衅饕延薪ń甑姆⒄梗芯勘明宕ǜ衅髌骷茉℃的高温下工作,且响应时间短,已基本可以满足汽车尾气的应用。在这种背影下,本文在国家工信部电子信息产业发展基金项目,“汽车动力系统传感器关键技术研究及产业化工信部财【号淖助下,对气体传感器的气敏原理、结构设计、制作工艺、性能检测技术进行了研究。本文分析了金属氧化物的敏感机理,包括氧气在金属氧化物材料的吸附过程和金属氧化物的点缺陷理论。重点分析了本次实验采用的敏感材料的氧敏性能。最终确定了采取不掺杂、掺杂和粼拥热諸敏感薄膜的传感器方案。设计并比较了电阻式和非电阻式跗ǜ衅鳎詈蟾菔笛榈实际情况,选择了缱枋奖∧ぱ跗ǜ衅鹘峁梗涿舾胁悴牧衔研究了半导体气敏传感器制作工艺,通过工艺实验,确定各个环节的工艺参数,成功制作出了氧敏传感器样品。搭建测试系统,对气敏传感器样品进行了氧敏性测试,测试结果表明,基于氲继逖跗ǜ衅骶哂辛己眯阅堋关键词。半导体氧气传感器,氧敏性,碳化硅,工艺,测试重庆邮电大学硕士论文。
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目录第二章氧气传感器感应原理分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第三章半导体氧气传感器结构设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯摘要第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..笛跗ǜ衅鞯慕樯堋基于宕ǜ衅餮芯扛趴觥牟牧咸匦浴气敏薄膜氧敏机理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯薄膜氧敏特性分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯性能分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..常见电阻式半导体气体传感器结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...∧ば推宕ǜ衅鳌⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..气体传感器概述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..宕ǜ衅鞯闹掷嗉蚪椤谄舸ǜ衅鞣矫娴挠τ谩本文的主要内容和论文结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..∧ば阅芊治觥跗ǜ衅餍阅芊治觥刁、结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⒔峁蛊宕ǜ衅鳌电阻型薄膜氧敏传感器结构设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.ǜ衅鹘峁寡≡...............................................................................
第五章氧气传感器氧敏性能测试与分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第六章总结与展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一附录ニ镀诩浞⒈淼穆畚摹附录ニ镀诩浯邮碌目蒲泄ぷ鳌第四章基于难醮ǜ衅髦票浮致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..逑础.∧⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯