文档介绍：浙江大学光电信息工程学系
硕士学位论文
三维微结构的激光热塑成型系统研究
姓名:温正湖
申请学位级别:硕士
专业:光学工程
指导教师:张冬仙;章海军
20100101
摘要三维微结构制备技术是..,微机电系统煊的关键技术之一,高效、经济的三维微结构制备技术对于的发展和进步具有不可或缺的作用。在众多的三维微结构制备技术中,激光微加工技术具有非接触、无污染、低噪声以及便于实现智能控制等特点,可以克服其他加工技术的一些不足,在领域得到越来越广泛的应用。本课题研制开发了一套基于激光热塑成型效应的三维微结构制备系统。该系统采用激光直写、结合卫】,二维矢量扫描的方式,无需掩膜等复杂过程,可以实现三维微结构高效、快速和低成本地制备。这一新的制备系统,能用于制备微机械、微光学技术、微电子技术、微光学电子机械系统及微纳米技术等领域的三维微结构,具有广阔的应用前景。本文的主要工作和研究成果如下:研制开发了一套基于激光热塑成型效应的三维微结构制备系统。设计了微结构制备系统的光路、机械、控制和监控模块,在制备三维微结构时可以对制备过程进行实时显微监控,能够方便地观察微结构生长情况,可实现微结构快速、方便地制备。设计完成了三维微结构的激光热塑成型及上窦嗫厝砑低场8萌砑低嘲三维微结构制备、制备过程实时监控以及视频、图像获取和处理等功能。可以高效地制备各种三维微结构。采用机软件直接控制激光器和二维电控平移台,而不是通过单片机间接控制加工系统,可以方便地在线升级软件模块功能而不用重新烧入单片机,减低了硬件成本,提高了系统的灵活性和通用性。利用研制的三维微结构制备系统进行实验。制备得到了点、线等基本微结构以及复杂微结构,其中有些具有实用性。:,三维微结构,激光微加工,热塑成型,二维步进平移台,视频采集,实时监控浙江大学硕士论文
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学位论文作者躲绳立酒学位论文作者签名:绳正湖签字日期:圳。年弓月午日翮躲弓移务蚀甏踉抡浙江大学研究生学位论文独创性声明学位论文版权使用授权书表或撰写过的研究成果,也不包含为获得逝姿盘鲎或其他教育机构的学位或年弓月年日滥’江盘堂构送交本论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权逝姿盘鲎本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文签字日期:中作了明确的说明并表示谢意。本学位论文作者完全了解有权保留并向国家有关部门或机可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ签字目期:上
致谢本文是在导师张冬仙教授和章海军教授的严格要求和悉心指导下完成的。从论文的选题到撰写,每一步都倾注着两位老师的心血。两位老师渊博的知识,严谨的治学态度,忘我的工作精神给我留下了深刻的印象,让我受益终身。在这两年多时间里,两位老师在学术科研和生活上都给予了我无微不至的关怀,使我获益匪浅。在此,我由衷地向两位老师致以最诚挚的感谢和敬意感谢国家自然科学基金项目己牛对课题的资助。在本课题的研究过程中,得到了实验室各位同学的热心帮助,本论文的顺利完成,与他们的大力支持是分不开的。感谢王乐妍博士在我两年多的学习和课题研究中对我的指导和帮助。感谢已经工作了的何玉琳师兄、李新弘师姐、单小磊师兄、于海峰师兄、徐凤师姐和陈超师姐,他们在我的学习和生活中给予了极大的帮助。感谢实验室里一起学习工作的刘超博士,伏霞博士、马利红博士、郭利硕士、王旭龙琦博士、谢志刚硕士、周雅各硕士、支绍韬硕士和赵冬伟硕士。感谢我的寝室室友王潇、徐涛和叶炎钟在生活和学习上对我的帮助。我将永远怀念与他们共同探讨、共同进步的日子。最后,感谢我的父母、家人和朋友一直以来对我默默的关怀,感谢所有关心支持我的年月于求是园人们。温正湖浙江大学硕士论文
第一章绪论微机电系统概述九十年代中后期以后,欧美发达国家竞相投入巨资发展,多种微制备技术得到迅于世纪年代末、年代初,政府各部门、科研院校对其十分重视。经过二十多年的发展,初步形成了几个研究力量比较集中的地区,积累了大量的科研能力,包括仪器设了较好的基础,初步形成了微惯性器、微机械领域、微加工工艺、生物工程技术领域和微机器人技术等研究方向,但与相比,还有较大的差距【。是一个综合系统,把复杂多样的功能集成到极小的几何空间里,充分体现了多学科交叉、多加工技术融合等趋势。组成单元主要有电力电子器件、