文档介绍：西南交通大学研究生学位论文年姓专二零一一年五月一令一一,牛血月国内图书分类号:国际图书分类号:密级:公开
佯诈学位论文作者签名:和办『/穸日期:¨.哆槐C芎ㄊ褂帽臼谌ㄊ椤本学位论文属于C芸冢年解密后适用本授权书;朐谝陨戏娇蚰诖颉啊指导老师签名:日期:
弃甑纭灿■】≥西南交通大学硕士学位论文主要工作毕声明本人在学位论文中所做的主要工作或贡献如下:针对气体传感器的响应时间较长和灵敏度不高的问题,对传统气体传感器的敏感结构进行了优化设计并进行性能分析比较。从增大气体敏感结构的表面积入手,基于技术,在传统半导体气敏传感器敏感结构的基础上提出了两种新的结构模型,一是将连续平面敏感结构的上半部分离散化,使之成为离散半圆柱体阵列结构;二是将连续平面敏感结构改变为梯形阵列结构。这样敏感结构就具有了三维敏感效应;对具有新型敏感结构的传感器的响应时间和灵敏度进行分析,证明新型敏感结构可以达到改善气体传感器的响应性能的目的。本人郑重声明:所呈交的学位论文,是在导师指导下独立进行研究工作所得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已在文中作了明确说明。本人完全了解违反上述声明所引起的一切法律责任将由本人承担。
摘要西南交通大学硕士研究生学位论文第科技的进步推动了工农业的蓬勃发展。然而,现代工农业生产过程中排出的废气越来越多,其中有不少气体是有毒气体和可燃气体。在人类的生活中,煤气泄露、爆炸等事故频繁发生。所以,我们必须在危险发生前对这些气体作出快速准确的检测,并发出危险警报,这样才能确保人们的生命财产安全。气体传感器在人们生产和生活中发挥着重要的作用,随着其应用的日益广泛,人们对其性能要求也越来越高。针对气敏元件的响应时间较长和灵敏度不高的问题,论文对传统的气敏传感器结构进行了优化设计。论文在详细阐述了气敏传感器的分类与原理的基础上,根据技术,引入离散阵列的概念,提出了两种新型气体传感器结构模型。这两种结构中,敏感部分的主体结构分别是由离散半圆柱体阵列和梯形阵列组成,这些离散立体敏感阵列使气体传感器具有了三维敏感特性,用扩散模型响应理论分析了敏感阵列对气体的响应,同时对设计器件的响应时间和灵敏度进行了分析比较。分析结果表明:离散半圆柱体敏感阵列结构器件和梯形阵列结构器件的响应时间性能和灵敏度都优于平面型敏感膜结构的传感器。离散半圆柱体阵列器件结构中,传感器的响应时间随着半圆柱体长度的增加而缩短,而灵敏度则随着半圆柱体长度的增加而减小。当半圆柱体的长度为扩散深度的丁/丁倍时,与传统平面连续敏感结构相比,它们的响应时间分别缩短了%、%、%,同时它们的灵敏度分别为传统平面敏感结构灵敏度的丁/逗倍。梯形阵列器件结构中,传感器的响应速度和灵敏度都随着梯形上底长度的减小而提高,当梯形上底长度为扩散深度的丁///保氪称矫婷舾薪峁瓜啾龋堑南煊κ奔浞直鹚醵塘%、%、%、、。当梯形上底长度减小为保南煊λ俣群土槊舳忍岣咦畲螅氪称矫婷舾结构相比,其响应时间缩短了%,灵敏度提高为传统平面结构的丁关键词:气体传感器;离散半圆柱体;响应时间;灵敏度
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Ⅳ页摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第滦髀邸研究背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯国内外发展现状及发展方向⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.宕ǜ衅鞴夥⒄⒄⒄狗较颉研究内容与结构安排⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.峁拱才拧第缕宕ǜ衅骰±砺邸气体传感器的分类及原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..槊舳取.≡裥浴提高半导体气体传感器性能的途径⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⑾<⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.褂霉松璞浮⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯●
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