文档介绍：特殊气体介绍Pressureunit:(压力单位)psig—表压,psia—绝对压力 psia=psig+=105Pa====:(流量单位)sccm—毫升/分钟 slpm—升/分钟1slpm=mS表示标准状态,即:1大气压,20℃。Weightunit:(重量单位)1Kg=:化学品名称,企业名称,企业应急电话等危险性概述:危险性类别(8大类),侵入途径,健康危害等急救措施:皮肤接触,眼睛接触,吸入等消防措施:危险特性,有害燃烧产物,灭火方法及灭火剂,灭火注意事项等泄露应急处理:应急处理和消除方法等操作处置与储存:操作注意事项,储存注意事项等接触控制/个体防护:最高容许浓度TLV,呼吸系统防护,眼睛防护,身体防护等理化特性:PH值,沸点(℃),相对蒸气密度(空气=1)等废弃处置:废弃物性质,废弃处置方法,废弃注意事项等法规信息:国内化学品安全管理法规,国际法规等MSDS—物质安全资料表SMIC的特殊气体分为四种:惰性气体毒性气体腐蚀性气体可燃性/毒性气体气体的定义在SMIC总共有41种特殊气体:14种惰性气体 CF4,CHF3,C4F8,C2F6,SF6,CO2,C3F8,%O2/He,20%O2/N2, 30%O2/He,%Kr/Ne,%He/N2,100ppmXe/Ar/Ne,%He/N26种毒性气体 SiH4,1%PH3/N2,1%PH3/H2,CO,%AsH3/H2,B2H68种腐蚀性气体 ClF3,NH3,SiF4,HCl,Cl2,HBr,%F2/%Kr/Ne,%F2/%Ar/Ne10种可燃性/毒性气体 NO,SiH2Cl2(DCS),N2O,NF3,10%CH4/Ar,CH3F,CH2F2,C4F6,4%H2/N2,5%H2/He,CH4Sub-Fab(腐蚀性)—C5F8,BCl3和WF6气体的定义气体房包括CQC(连续质量控制)房,纯化器房,惰性气体房,毒性气体房,腐蚀性气体房和可燃性/:气体房布置图特殊气体通过气瓶柜输送到特殊气体分配器—VMB/VMP,然后送到机台端给制程用特使气体供应系统包括3部分:气瓶柜—气体供应的源头,供应稳定压力的气体VMB/VMP—气体分配器,装有阀门来控制每一路气体管道机台—特殊气体的最终用户特使气体供应系统G/C气瓶柜VMB/asRoom1楼气体房2ndFloorSub-Fab2楼次洁净室3rdFloorCleanRoom3楼洁净室特殊气体供应流程图气体房FAB1特气气瓶柜