文档介绍：透射电子显微镜结构和成像原理
http://china. 2011年08月10日09:37 生意社
生意社08月10日讯 
透射电子显微镜结构包括两大部分:主体部分为照明系统、成像系统和观察照相室;辅助部分为真空系统和电气系统。
1、照明系统
该系统分成两部分:电子枪和会聚镜。电子枪由灯丝(阴极)、栅级和阳极组成。加热灯丝发射电子束。在阳极加电压,电子加速。阳极与阴极间的电位差为总的加速电压。经加速而具有能量的电子从阳极板的孔中射出。射出的电子束能量与加速电压有关,栅极起控制电子束外形的作用。电子束有一定的发散角,经会聚镜调节后,可看得到发散角,很小甚至为0的平行电子束。电子束的电流密度(束流)可通过调节会聚镜的电流来调节。
,照明区域愈小,,相干性也较差。为了更有效地利用这些电子,获得亮度高、相干性好的照明电子束以满足透射电镜在不同放大倍数下的需要,由电子枪子枪发射出来的电子束还需要进一步会聚,提供束斑尺寸不同、,其作用是将电子枪的交叉点成一缩小的像,,在照明系统中还安装有束倾斜装置,可以很方便地使电子束在2°~3°的范围内倾斜,以便以某些特定的倾斜角度照明样品。
2、成像系统
该系统包括样品室、物镜、中间镜、反差光栏、衍射光栏、投射镜以及其它电子光学部件。样品室有一套机构,保证样品经常更换时不破坏主体的真空。样品可在X、Y二方向移动,以便找到所要观察的位置。经过会聚镜得到的平行电子束照射到样品上,穿过样品后就带有反映样品特征的信息,经物镜和反差光栏作用形成一次电子图象,再经中间镜和投射镜放大一次后,在荧光屏上得到最后的电子图象。
照明系统提供了一束相干性很好的照明电子束,这些电子穿越样品后便携带样品的结构信息,沿各自不同的方向传播(比如,当存在满足布拉格方程的晶面组时,可能在与进射束交成2θ角的方向上产生衍射束).物镜将来自样品不同部位、传播方向相同的电子在其背焦面上会聚为一个斑点,沿不同方向传播的电子相应地形成不同的斑点,其中散射角为零的直射束被会聚于物镜的焦点,,,,使中间镜的物平面与物镜的背焦面重合,可在荧光屏上得到衍射花样若使中间镜的物平面与物镜的像平