文档介绍：第’S 卷第( 期真空科学与技术学报
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复合纳米颗粒薄膜的制备和微结构
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(安徽大学物理系合肥’())(*)
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摘要用射频磁控共溅射法制备了体积分数分别为、、、、和的复合纳米颗粒薄
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膜。用射线衍射、透射电镜、射线光电子能谱对薄膜的微结构和组分进行了测试分析,分析结果表明:制备的复
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合纳米颗粒薄膜由晶态纳米微粒镶嵌于主要为非晶态的陶瓷基体中构成,当体积百分含量由增至
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