文档介绍：
研究报告
技术动态综述洁净室
的ESD问题及RSD控制
项目部刘斌
2005年6月
深圳市华诺丰源科技有限公司
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简要
自从深净室的谦电放电BSD问题袖提出后,微电二产品生产行业和生物
医药制选行业,BSD标准和控制受到广泛的关注
肉暨
时寿环境内的其他参数和材料迹行
意泽微粘数量,微称最重要的计量单位是微米,即10米,
大敌相当于0000039英寸。
诵浑室级别划分最为通行的方法源自ISO14644标准,洗余准以每立方米窄
,它取代了过名仪兰国国家准Fed
sd2091992详见表1,市后者是以锭立方荬尺空气05微米的像粥数木创
分淑冼级别的。其中,209标准中的100级洪深家是指,仪立方英H大于
,此洁净纵别相当于ISOI4644标准中的5级
后者的吾义是锭立方米空中大于等于5微米的健粒数专过3520
活泊室中拉制静电芝产生是非算必要的。静电可能降估生产7也可能佩
自动化设备因为受到电碳下抓十失灵,静电产生的解电引力ESA还会优粗子
认数濑粒孔粘附数量踏尘,,
,一个4奕寸的暨片带1000V的静电后,
,
带电体的牌电引力要比重力、气流力和粘着力相比要高得多
广泛傲用的绝绿村料,如欣确、特氟纶聚四氯乙烽和高分子聚司物会产
生高电位的靛电,解决此闰题首先考虚工作站接地,比如使用不锋钰工作台台
看,这倡做是有害皓
,209E标淅可以为国际新的标准所取代,
图此它将逐步为ISO14644所淇沙
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