文档介绍：电子工业专用设备���
· 专题报道· �������������������������������������������
太阳能电池制绒设备研究的几点心得
张晓红�王锐廷
�北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司�北京�������
摘要:着重对太阳能电池制绒工艺的研究进行了阐述�并以研究所得的工艺数据为基础�对制绒
设备的关键部件——工艺槽体的设计进行了详细说明�保证所研发的最终设备满足了大规模生
产线对制绒设备的需要。
关键词�太阳电池�单晶硅�制绒
中图分类号������文献标识码��文章编号����������(����)����������
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�引言�工艺研究
清洗设备在整个太阳能电池生产线上起到至在太阳能电池生产中,刻蚀具有两个作用,即
关重要的作用。主要可以分为:扩散前的制绒、酸去除切割过程中产生的表面缺陷,同时进行硅片表
洗,磷硅玻璃(���)的湿法腐蚀、漂洗等几类。面构化。构化的目的就是延长光在电池表面的传播
我公司所提供的产品囊括了上述环节的所有路径,从而提高太阳能电池对光的吸收效率。构化
类型的清洗设备,完全可以满足各个环节的工艺要的主要方法可以分为干法和湿法两种。后者是目前
求。本文将着重就制绒设备研究过程中的几个重要应用最广泛的刻蚀方法,即用碱(����、���)或
问题进行阐述。酸液(����、��)对硅片表面进行腐蚀。
收稿日期�����������
作者简介�张晓红,����年�月毕业于重庆大学,机械制造及其自动化专业,工学硕士,目前主要从事半导体及太阳能电池行
业清洗设备研发工作。
��(总第���期)��������
���电子工业专用设备
�������������������������������������������· 专题报道·
由于硅片的内部结构不同,各向异性的碱液刻绒方法。一般碱制绒有以下几种方法:
蚀主要用于晶向分布均匀的单晶硅,而晶向杂乱的(�)��������
多晶硅采用各向同性的酸液刻蚀会有更好的构化(�)���������������
效果。(�)�������������
本研究以单晶硅制绒为例进行工艺实验,对于一般使用到的化学添加剂有两种,一种是���
多晶硅材料而言,我们正与厂家进行实际工艺摸(异丙醇),另一种是工业酒精。