文档介绍：博士论文开题报告-文献综述
文献综述
学号: 研究生: 导师: 研究方向: 论文题目: 学科: 学院: 入学时间: 开题时间:
材料学材料科学与工程系 20xx年9月 20xx年10月20日
王新建
吴建生教授姜传海教授
材料科学
年月日
0 引言............................................................................................................................ 1
.................................................. 2
.大规模集成电路的发展概况.......................................................................................... 2
.ULSI中铝互连线的发展................................................................................................ 4
.ULSI中铜互连线工艺的提出、发展及存在的问题.................................................... 5
.铜互连工艺的提出............................................................................................... 5
.铜互连技术的主要问题....................................................................................... 8
............................................................ 10
................................ 12
.Fick扩散定律及扩散系数............................................................................................ 13
.Fick第二扩散定律............................................................................................. 13
.扩散系数的确定及Arrhenius公式................................................................... 14
.薄膜扩散理论................................................................................................................ 14
.单晶薄膜的扩散动力学理论的研究................................................................. 15
.多晶薄膜扩散动力学理论的研究..................................................................... 16
.溶质对晶粒间界扩散的影响........................................................................................ 21
溶质在高温时增加晶粒间界扩散........................................................................ 21
溶质在低温时减小晶粒间界的扩散.................................................................... 22
.铜薄膜中铜原子层间的扩散失效......................................................................