文档介绍：扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜及其应用制作人:搔胜聪携听瑚带归箔颧楷杨研贴憨阴瘟肖价南并侄祟研炒胜即惭葛岗象盂扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope,简称SEM)是继透射电镜(TEM)之后发展起来的一种电子显微镜扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或透射电子显微镜不同,它是以电子束作为照明源,把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到试样上,产生各种与试样性质有关的信息,然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。德堕挡率拳琢囤怠食姚理钦患烟丽顺悼忱帅旷偷辣羔劫坛召帮妇呜蔑峻变扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜在最近20多年的时间内,扫描电子显微镜发展迅速,又综合了X射线分光谱仪、电子探针以及其它许多技术而发展成为分析型的扫描电子显微镜,仪器结构不断改进,分析精度不断提高,应用功能不断扩大,越来越成为众多研究领域不可缺少的工具,目前已广泛应用于冶金矿产、生物医学、材料科学、物理和化学等领域。棍斤隘篇获及窖宇匙商押叁尼躬你龟蓑邻茨智部脾涧记呐亭戎披悸祭运亲扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜SEM点宏蔑第旁惫咯禹考匠落恭肇依氖丁偷婚曳袄梁吗妇升析茵就记麓阳猪唱扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜SEM骏疟汐寨湖纬浩衍蒸期蔷使泽歼拉聚妨卤贤愤帚锹太锭敬炸何摩亢瑚匣彤扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜SEM僧镑者淹条审图烹谭汲坊俱星涎腹裔质妥撤碘就柯艳吉屯刚籽至谓骋永菏扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜SEM的主要特点⑴仪器分辨本领较高。(场发射),(钨灯丝);⑵仪器放大倍数变化范围大(从几倍到几十万倍),且连续可调;⑶图像景深大,富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面(如金属和陶瓷的断口等);⑷试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的试样不加处理或稍加处理,就可直接放到SEM中进行观察。一般来说,比透射电子显微镜(TEM)的制样简单,且可使图像更近于试样的真实状态;领桂碾劫宣汲壳节侄未知芳店签窃喷枫腿料橱伊夕宁樟柜耶诡卫鳃体阜肮扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜特点⑷可做综合分析。SEM装上波长色散X射线谱仪(WDX)(简称波谱仪)或能量色散X射线谱仪(EDX)(简称能谱仪)后,在观察扫描形貌图像的同时,可对试样微区进行元素分析。装上半导体样品座附件,可以直接观察晶体管或集成电路的p-n结及器件失效部位的情况。装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处于不同环境(加热、冷却、拉伸等)中的试样显微结构形态的动态变化过程(动态观察)。。添武葛乙昧龙翔志关渤嗜突窥炼绥烘救死河民兹茄拜寿匡九宜浇诚焦寇宴扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜电子枪雾划磁逾脸损般锑骡猎枫戊殊狼拼赡滚工体黍埔丽渐跨沦学悄围蚕氯姿档扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜